Die Entwicklungsingenieurin

Eine EUV-Lithographie-Anlage der neuesten Generation wiegt über 180 Tonnen, besteht aus mehr als hunderttausenden Einzelteilen und wird von mehreren zehntausend Schrauben zusammengehalten. Dazu kommen über tausend verschiedene Kabel, mehrere hundert Meter Schlauchleitungen und das Herzstück der Anlage: die EUV-Spiegel. Einmal in Betrieb genommen, fertigt diese Anlage Hochleistungs-Mikrochips, die mehr als 57 Milliarden Transistoren auf wenigen Quadratzentimetern unterbringen.

Allerdings nur, wenn sämtliche Teile, Schrauben, Kabel und nicht zuletzt die Spiegel perfekt aufeinander abgestimmt sind und exakt so arbeiten, wie sie sollen. Eine Herkulesaufgabe. Eine Aufgabe, wie geschaffen für Camila: Als Entwicklungsingenieurin testet sie das Zusammenspiel von optischen Komponenten in EUV-Systemen und trägt damit zur weltweiten Digitalisierung bei. Schließlich werden mit solchen EUV-Systemen modernste Mikrochips hergestellt, indem mit Fotolack beschichtete Siliziumscheiben mit EUV-Licht – also extrem ultraviolettem Licht – in einer Wellenlänge von exakt 13,5 Nanometern belichtet werden. Dabei entstehen nanofeine Halbleiterstrukturen, die 5.000-mal feiner sind als ein menschliches Haar.

Schon während ihres Studiums knüpft Camila erste Kontakte zu ZEISS. „Das war super! So konnte ich neben meinem Studium die Praxis eines Industrieunternehmens kennenlernen. Ich habe in dieser Zeit die Entwicklung, Labore und verschiedene Produktionslinien gesehen und natürlich auch Fragen gestellt. Viele Fragen!“, lacht Camila in der Rückschau. Sie beschäftigt sich in dieser Zeit mit Sicherheitssystemen für Roboter – und das so erfolgreich, dass ihr noch vor dem Abschluss eine Stelle angeboten wird. Seit März 2021 ist Camila „Entwicklungsingenieurin Mechatronik und Qualifizierung“ in der Halbleiterfertigungssparte bei ZEISS und Teil eines 17-köpfigen Teams.

Das Team ist für die Entwicklung der dynamischen Qualifizierung bei der Integration von Projektionsoptiken verantwortlich. Oder etwas einfacher ausgedrückt: Camila und ihre Kolleginnen und Kollegen überprüfen die Funktionsweise von EUV-Optiken. Sie erhalten dazu vormontierte Module, die Spiegel, Aktuatoren und Sensoren aus unterschiedlichen Fertigungsbereichen enthalten und testen das Zusammenspiel aller Elemente. Dazu werden die Spiegel gezielt bewegt und die dabei entstehenden Signalwerte mit Soll-Werten verglichen.

„Im Team bin ich die Neue, wurde aber von Anfang an mit eingebunden. Schon in der zweiten Woche hatte ich meine erste eigene Aufgabe – die Entwicklung eines Graphical User Interfaces, das zum Beispiel die exakte Position und Temperatur des Spiegels anzeigt. Das GUI konnte darüber hinaus Befehle an den Spiegel abschicken und verschiedene Parameter ändern.“

Meist arbeitet Camila im Backoffice, manchmal aber geht sie auch in die Fertigung und hinein in den Reinraum. Eine besondere Erfahrung: „Vor Ort werden Daten zur Realität. Hier kann ich direkt sehen und erleben, wieso meine Arbeit wichtig ist. Und wie viele andere Menschen mit mir zusammen am gleichen Projekt arbeiten. Ich finde es auch immer wieder beeindruckend, wie komplex die Bauzustände sind – wie so viele Kabel, Kühlleitungen und Sensoren in so wenig Raum passen.“