Software

ZEISS 3DSM

Topografische Proben in 3D analysieren

Ihr Rasterelektronenmikroskop misst und analysiert alle Arten von Proben lediglich in 2D. Mit dem optionalen 3DSM Softwarepaket von ZEISS analysieren Sie Probenoberflächen auch in 3D. Durch die Rekonstruktion eines kompletten 3D-Modells Ihrer Probe anhand der Signale von Rückstreudetektoren erhalten Sie topografische Informationen.

3D-Oberflächenmodellierung mit dem SEM
Rekonstruktion von Oberflächentopografien mit 3DSM
Ergänzende Quantifizierungen zu Ihren Messungen mit SEM Map

3D-Oberflächenmodelle

Probenoberflächen mit dem SEM rekonstruieren

Ein typischer Anwendungsfall sind Profilhöhenmessungen. Diese Messungen werden normalerweise per Profilometer oder AFM in einem Industrieforschungs- oder Qualitätslabor vorgenommen, um z. B. bearbeitete Oberflächen oder Prägeverfahren schnell beurteilen zu können. Jedoch erlaubt keines dieser beiden Verfahren die unkomplizierte Lokalisierung von Interessensbereichen, die ein SEM bietet. Auf Anfrage wird die Messgenauigkeit Ihres Gerätes mit einem Kalibriernormal mit definierten Stufenhöhen speziell angepasst.

SEM Map

Rüsten Sie Ihr ZEISS FE-SEM mit dem optionalen SEM Map Paket auf, um im Rahmen von Routinekontrollen automatisiert Messungen durchzuführen und Dokumentationen gemäß ISO 25178, DIN, ASME und weiteren Normen zu erstellen.
Analysieren Sie Oberflächen in 3D und erstellen Sie komplette Messaufzeichnungen.
Charakterisieren Sie Oberflächen und Profile einschließlich Parametern wie Stufenhöhe, Distanz, Nanokontur, Rauheit und Welligkeit, Partikel- und Korngröße.
Erstellen Sie lückenlos rückverfolgbare metrologische Berichte.

3DSM

Untersuchen Sie geeignete Proben mit einem Elektronenmikroskop, das entweder mit einem aBSD (ringförmiger Rückstreudetektor), einem AsB (winkelselektiver Rückstreudetektor, nur GeminiSEM Produktfamilie) oder einem BSD1 (EVO) ausgestattet ist. Direkt im Anschluss können Sie eine 3D-Oberflächenrekonstruktion der jeweiligen Probe erstellen.
Kombinieren Sie 3DSM mit der SEM-Betriebssoftware SmartSEM für die sequenzielle oder Echtzeit-Bildgebung in 3D – oder verwenden Sie den Stand-alone-Modus zur Darstellung archivierter Projektdateien.
Profitieren Sie von Echtzeitbetrieb und einer Rekonstruktionsdauer von unter 2 s mit GeminiSEM. Sigma und EVO liefern sequenzielle Bilder.
Zur Rekonstruktion wird der zugrundeliegende „Shape-from-Shading“-Algorithmus eingesetzt.
Führen Sie mit nur wenigen Mausklicks direkt am erstellten 3D-Modell einfache Messungen wie Profilabmessungen sowie 2D- und 3D-Rauheitsbeurteilungen durch.
Nutzen Sie die neue grafische Benutzeroberfläche von 3DSM, die ausgehend von den Schritten des Arbeitsablaufs (Positionierung, Erfassung und Korrektur) neu gestaltet wurde.
Profitieren Sie von neuen Standardrauheitswerten (Ra, Sa) und neuen Filtern für Welligkeit und Rauschkorrektur.