Erweiterungen für FE-SEM

Mit dem neuen winkelselektiven Rückstreuelektronendetektor (Angle-selective Backscatter Detektor, AsB-Detektor) als Erweiterung steigern Sie Ihre Produktivität und verbessern die Abbildungsqualität Ihres FE-SEM. Durch das optimierte Detektor- und Elektronikdesign profitieren Sie von hohen Geschwindigkeiten und einer verbesserten Empfindlichkeit.

Vorteile:

• Verbesserte Leistung bei niedrigen kV-Werten
• Verbesserter Bildkontrast
• Stabiles Temperaturniveau

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Rüsten Sie Ihren alten AsB-Detektor auf

Der energieselektive Rückstreuelektronendetektor (Energy selective Backscattered Detektor, EsB-Detektor) ist die richtige Wahl für klare Materialkontraste. Dieser ringförmige, in die Säule integrierte Detektor befindet sich über dem Inlens-Detektor. Mit der Detektion von Rückstreuelektronen (Backscattered electrons, BSE) werden Informationen zu Bereichen unterhalb der Oberfläche und zur Zusammensetzung im Nanobereich sichtbar.

Vorteile

• Ausführlichere Materialinformationen
• Weniger Topografieeffekte
• Energieselektiver Materialkontrast

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Eine schnelle Bildgebung in der gewünschten Auflösung setzt hohe Elektronendosen und Beschleunigungsspannungen voraus, die zu Aufladungseffekten und Probenschädigungen führen und auf diese Weise die Bildqualität beeinträchtigen können. ZEISS Sense BSD kombiniert die hochaufgelöste ultrastrukturelle Bildgebung mit einem neuen Maß an Effizienz und Bildqualität und erlaubt so die TEM-ähnliche Bildgebung mit Ihrem SEM.

Vorteile:

• Gut geeignet für nichtleitende, aufladungsanfällige biologische Proben
• Maximaler Schutz für Proben, Vermeidung einer Bildverschlechterung
• Hochwertige Bilder in kürzerer Zeit

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Der ZEISS BSD-Detektor mit Einkristall-Szintillator aus Yttrium-Aluminium-Granat (YAG) sorgt für eine effizientere Lichtleitung, was ideal für das Imaging bei niedrigen Signalpegeln ist. Durch das strahlungsschädenfreie Material eignet sich der YAG-BSD-Detektor für alle Strahlenergiebereiche.

Vorteile:

• Höhere Signalausbeute
• Verhinderung von Schäden
• Noch umfassendere Vielseitigkeit

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Der neue ETSE-Detektor (Everhart Thornely Secondary Electron Detektor) mit optisch gekoppeltem Photomultiplier wurde für eine verbesserte SE-Erfassung bei niedrigeren kV-Werten und größeren Arbeitsabständen konzipiert.

Vorteile:

• Geringere Aufladungseffekte
• Verbessertes topografisches Imaging
• Hervorragende Oberflächendetails

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Wenn das Imaging mit dem Rasterelektronenmikroskop allein nicht mehr ausreicht, um Bauteile oder Proben vollständig zu charakterisieren, sollten Sie auf die energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX) zurückgreifen. So kann die chemische Elementzusammensetzung räumlich dargestellt werden.

Vorteile:

• Optimiert für alle Routineanwendungen der Mikroanalyse
  
• Benutzeroberfläche, die den Arbeitsabläufen folgt – nicht umgekehrt
  
• Umfassender ZEISS Service und Systemsupport

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ZEISS Atlas 5 macht Ihr Leben einfacher: Erstellen Sie in einer probenzentrierten, korrelativen Umgebung vollständig mehrdimensionale, multimodale Bilder.

Vorteile:

• Korrelation von Bildern aus mehreren Quellen in mehreren Dimensionen
• Schnelle, einfache Bildaufnahme

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SmartSEM ist eine Steuerungssoftware für Elektronenmikroskope, die erweiterte Mikroskopeinstellungen verfügbar macht und Ihnen dabei hilft, auch anspruchsvollste Aufgaben zu bewältigen.

Vorteile:

• Verbesserte Imaging-Bedingungen
• Zusätzliche Softwaremodule
• Mehr Informationen aus Ihren Bildern
• Intuitive Navigation

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Ihr Rasterelektronenmikroskop misst und analysiert alle Arten von Proben lediglich in 2D. Mit dem optionalen 3DSM Softwarepaket von ZEISS analysieren Sie Probenoberflächen auch in 3D. Erhalten Sie topografische Informationen, indem Sie mithilfe der Signale eines aBSD- oder AsB-Detektors ein komplettes 3D-Modell Ihrer Probe rekonstruieren.

Vorteile:

• 3DSM
• 3D-Oberflächenrekonstruktionen Ihrer Proben erstellen
• Von Echtzeitbetrieb und Rekonstruktionsdauern von < 2 s profitieren

3DSM Metrology:

• Automatisieren Sie Messungen und die Dokumentationen, komplett gemäß ISO 25178, DIN und ASME sowie weiteren Normen.
• Erstellen Sie lückenlos rückverfolgbare metrologische Berichte.
• Charakterisieren Sie Oberflächen und Profile einschließlich Parametern wie Stufenhöhe, Distanz, Nanokontur, Rauheit und Welligkeit, Partikel- und Korngröße.

Das Charge Compensation System sorgt mit der Ionisierung von Stickstoff für die lokale Entladung nichtleitender Proben. Die hohe Auflösung in Kombination mit den zusätzlich erweiterten Analysefunktionen ist durch die Integration eines Ladungskompensationssystems nicht auf leitende Proben begrenzt, sondern auch für alle Arten nichtleitender Proben geeignet.

Vorteile:

• Erfassung nichtleitender Proben
• Verbesserte Abbildungsqualität
• Höhere Produktivität und Vielseitigkeit

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ZEISS Focal CC (Focal Charge Compensation, fokale Ladungskompensation) ist ein verbessertes Gasinjektionssystem, das Aufladungseffekte eliminiert und so die Bildqualität verbessert. So gehört die bisher häufige Aufladung von Proben, insbesondere solcher mit großen Bereichen aus reinem Harz, und die damit einhergehende erhebliche Verschlechterung der Bildqualität inklusive Verzerrungen der Vergangenheit an.

Vorteile:

• Hochauflösendes Imaging
• Verhinderung von Schäden
• Automatisches Zurückziehen der Nadel

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Durch Ausrüstung der Doppel-Joystick-Steuerung mit Bedienpanel wird die Bedienung Ihres SEM wesentlich komfortabler. Mit der Doppel-Joystick-Steuerung können Sie sowohl den Tisch steuern als auch über die Probe navigieren. Über das Bedienpanel greifen Sie auf die wichtigsten Funktionen Ihres SEM zu.

Vorteile:

• Viele Kompensationsmöglichkeiten
• Mehrere Konfigurationsoptionen
• Komfortable Bedienung

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