ZEISS Mikroskopie
Online Shop Internationale Website (Deutsch)
Zurück
ZEISS Mikroskopie
Empfohlene Suchen
Beliebte Suchen
Service und Support

Erweiterungen für FIB-SEM

Für eine längere Lebensdauer und erweiterte Funktionalität
Detektion und Analyse

Analysieren Sie Ihre Proben mit einer breiten Palette an Detektoren

FIB/GIS

Software und Workstation

Nanostrukturierung und Patterning

Vakuum und Bedienkomfort

Zubehör

Detektion und Analyse

Analysieren Sie Ihre Proben mit einer breiten Palette an Detektoren. Verschiedene Detektoren liefern jeweils unterschiedliche Informationen zu Oberfläche, Zusammensetzung und anderen Aspekten, mit denen Sie Ihre Prozesse verbessern und vereinfachen können. 

Finden Sie die passenden Detektoren für Ihre Anforderungen:

  • Erhalten Sie Empfehlungen zu für Ihre Applikation passenden Detektoren
  • Profitieren Sie von einem Leitfaden für die einfache Anwendung
  • Erhalten Sie detektorspezifische Informationen
  • Erfahren Sie mehr zu den verfügbaren Funktionen
  • Erfahren Sie mit unserem interaktiven Informationstool alles, was Sie zu ZEISS Detektoren wissen müssen
Zur Detektorsuche

aSTEM-Detektor

Informationsmaximum durch optimierte Ringkonstruktion

Erweitern Sie Ihr FE-SEM oder Crossbeam System mit der Möglichkeit zum Transmissionselektronen-Imaging. Erhalten Sie ganz ohne Transmissionselektronenmikroskop zusätzliche Informationen zur Ihren ultradünnen biologischen oder Festkörperproben und profitieren Sie von einer hohen Flexibilität und Vielseitigkeit.

Vorteile:

  • Verbesserte Bildauflösung
  • Bedienkomfort
  • Höhere Produktivität und Vielseitigkeit

Produktbroschüre

EsB-Detektor

Informationen von Bereichen unterhalb der Oberfläche und zur Zusammensetzung im Nanobereich visualisieren

Der energieselektive Rückstreuelektronendetektor (Energy selective Backscattered Detektor, EsB-Detektor) ist die richtige Wahl für klare Materialkontraste. Dieser ringförmige, in die Säule integrierte Detektor befindet sich über dem Inlens-Detektor. Mit der Detektion von Rückstreuelektronen (Backscattered electrons, BSE) werden Informationen zu Bereichen unterhalb der Oberfläche und zur Zusammensetzung im Nanobereich sichtbar.

Vorteile

  • Ausführlichere Materialinformationen
  • Weniger Topografieeffekte
  • Energieselektiver Materialkontrast

Produktbroschüre

SESI-Detektor

Umfassende Detailinformation durch Detektion von Sekundärelektronen und -ionen

Der Sekundärelektronen-Sekundärionen-Detektor (Secondary Electrons Secondary Ions Detektor, SESI-Detektor) ist ein neuer Detektortyp für Crossbeam Workstations. Mit diesem Detektor lassen sich FIB-Sekundärionen- oder Sekundärelektronenbilder aufnehmen.

Vorteile:

  • 2 in 1: Informationen durch Elektronen und Ionen
  • Ausführlichere Materialinformationen
  • Breite Palette an Kombinationsmöglichkeiten

Produktbroschüre

BSD-Detektor

3D-Imaging und Oberflächenmetrologie in Echtzeit

Der BSD4-Detektor erkennt Rückstreuelektronen, die in sehr niedrigen Winkeln gestreut wurden. Der COMPO-Mode erzeugt hochwertige Materialkontraste, sodass schwere Materialien heller dargestellt werden als leichte Materialien.

Vorteile:

  • Verbesserte Leistung bei niedrigen kV-Werten
  • Verbesserter Bildkontrast
  • Stabiles Temperaturniveau

Produktbroschüre

Sense BSD-Detektor

Ultrastrukturelle Bildgebung mit einem neuen Maß an Tempo und Qualität

Eine schnelle Bildgebung in der gewünschten Auflösung setzt hohe Elektronendosen und Beschleunigungsspannungen voraus, die wiederum zu Aufladungseffekten und Probenschädigungen führen und so die Bildqualität beeinträchtigen können. ZEISS Sense BSD kombiniert die hochaufgelöste ultrastrukturelle Bildgebung mit einem neuen Maß an Effizienz und Bildqualität; dadurch wird TEM-ähnliche Bildgebung auf Ihrem SEM möglich.

Vorteile:

  • Gut geeignet für nichtleitende, aufladungsanfällige biologische Proben
  • Maximaler Schutz für Proben, Vermeidung einer Bildverschlechterung
  • Hochwertige Bilder in kürzerer Zeit

Produktbroschüre

ES-Verstärker für BSD-Detektoren

Bildgebung der nächsten Generation mit stark verbesserter Abbildungsqualität

Der BSD-Detektor erkennt Rückstreuelektronen, die in sehr niedrigen Winkeln gestreut wurden. Der neue Verstärker bietet eine höhere Detektoreffizienz und erzeugt verschiedene Kontrastinformationen, eine wesentlich höhere Verstärkung und einen geringeren Rauschpegel.

 

Vorteile:

  • Verbesserte Signalerfassung
  • Leiser Betrieb
  • Variable Bildgebung

Produktbroschüre

Fokussierter Ionenstrahl (FIB) / Gasinjektionssystem (GIS)

Erfahren Sie mehr zum fokussierten Ionenstrahl (FIB, Focused Ion Beam) und schöpfen Sie dessen volle Möglichkeiten beim Sputtern sowie der Werkzeugfunktion für die Mikro- und Nanobearbeitung aus. Das Gasinjektionssystem (GIS) erlaubt das Aufdampfen verschiedener Materialien auf eine Probe. Analysieren Sie mit FIB-SIMS die Zusammensetzung fester Oberflächen und dünner Schichten und erhalten Sie durch die In-situ-Lamellenbetrachtung mit dem Mikromanipulator detaillierte Informationen.

FIB-Säule

Upgrade auf eine Crossbeam Workstation – für Mikro- und Nanostrukturierung per FIB-Säule

Kombinieren Sie die Bildgebungs- und Analyseleistung Ihrer Gemini Säule mit den Möglichkeiten eines fokussierten Ionenstrahls (FIB) der nächsten Generation. Mit einer FIB-Erweiterung schöpfen Sie die vollen Möglichkeiten Ihrer Workstation beim Sputtern sowie der Werkzeugfunktion für die Mikro- und Nanobearbeitung aus.

 

Vorteile:

  • Erzielen Sie die maximale Informationsausbeute
  • Behalten Sie die volle Kontrolle übe die Prozesse
  • Arbeiten Sie mit höchster Flexibilität

Produktbroschüre

Einzel-/Multi-GIS

Unkompliziertes Aufdampfen von Metallen und Isolationsmaterial

Mit dem Einzel-/Multi-GIS injizieren Sie für das elektronen- oder ionenstrahlinduzierte Aufdampfen von Metallen und Isolatoren ein Prozessgas auf die Probenoberfläche.

 

Vorteile:

  • Aufdampfen verschiedener Materialien
  • Breite Auswahl an Vorläufern
  • Komfortable Bedienung

Produktbroschüre

UniGIS

Materialaufdampfung mit deutlich höherer Leistung

ZEISS UniGIS (GIS = Gasinjektionssystem) ist ein neues Einzelgasinjektionssystem für die ionen- oder elektronenstrahlinduzierte Aufdampfung (IBID/EBID) von Vorläufern wie Platin, Wolfram oder Kohlenstoff mit FIB-SEM-Systemen von ZEISS.

Vorteile:

  • Prozessstabilität
  • Komfortable Bedienung
  • Zuverlässige Aufdampfung

Produktbroschüre

FIB-Sekundärionen-Massenspektrometrie

Analyse der Zusammensetzung fester Oberflächen und dünner Schichten

FIB-SIMS ist ein hoch leistungsfähiges Verfahren, das sich speziell für die hochempfindliche Nano-Oberflächenanalyse bei der Materialanalyse eignet. Die Elementdetektionsgrenzen reichen von Teilen pro Million bis zu Teilen pro Milliarde. Per Massenspektrometrie lassen sich Oberflächen-, Bild- und Tiefenprofil-Informationen auf Elementarebene generieren.

Vorteile:

  • Leistungsfähige Oberflächenanalyse
  • Verbesserte Auflösung
  • Tiefenprofilerstellung

Produktbroschüre

Cross-Jet-System für die Partikelextraktion für Crossbeam Laser

Verringerte Kontamination des Schutzfensters

Verringern Sie die allgemeine Kontamination des Schutzfensters und den Aufwand für die Reinigung der Strahlengangkomponenten. Die Cross-Jet-Düsenbaugruppe lässt sich für die Reinigung ganz einfach entfernen. Darüber hinaus ist es somit möglich, über die Laservorbereitungskammer hohe EBSD-Träger zu laden.

Vorteile:

  • Weniger Kontamination
  • Minimaler Reinigungsaufwand
  • Verbesserter Abtrag

Produktbroschüre

Nanostrukturierung und Patterning

Erstellen Sie Strukturen im Nanometerbereich, indem Sie mithilfe verschiedener Systeme (z. B. Atomic Force Microscope) Oberflächenmaterial entfernen oder ergänzen, oder profitieren Sie mit der großen Optionsauswahl von ZEISS Atlas 5 von multimodalen Bildern und umfassender Mehrdimensionalität.

Atomic Force Microscope

Erweiterung auf 3D-Auflösung auf atomarer Ebene

Das Atomic Force Microscope erweitert die SEM-Funktionalitäten um eine kalibrierte, atomare 3D-Auflösung und um die Möglichkeit der Ausführung hochauflösender Messungen.

 

Vorteile:

  • Informationen zu den mechanischen, elektrischen, chemischen und magnetischen Eigenschaften der Probenoberfläche
  • Höhere Produktivität und Vielseitigkeit sowie komfortable Bedienung

Produktbroschüre

Atlas 5

Meistern Sie multidimensionale Herausforderungen

ZEISS Atlas 5 macht Ihr Leben einfacher: Erstellen Sie in einer probenzentrierten, korrelativen Umgebung vollständig mehrdimensionale, multimodale Bilder.

Vorteile:

  • Korrelation von Bildern aus mehreren Quellen in mehreren Dimensionen
  • Schnelle, einfache Bildaufnahme

Produktbroschüre

 

Software und Workstation

Entdecken Sie die neuesten Softwareversionen und lizenzbasierten Funktionserweiterungen sowie die immer aktuell empfohlene leistungsstarke PC-Hardware, um die Leistung Ihrer Systeme zu optimieren.

SEM Workstation

Effiziente Workflows, intuitive Navigation und schnellere Dateisuche

Das ZEISS Workstation-Upgrade verbessert mit der aktuellen SmartSEM Software, einer auf Hochleistung ausgelegten Hardware und dem neuesten Betriebssystem jeden Aspekt Ihrer täglichen Abläufe.

 

Vorteile:

  • Neueste SmartSEM Version
  • Intuitive Navigation
  • Windows 10

Produktbroschüre

SmartSEM

Effizienterer Betrieb Ihres Rasterelektronenmikroskops

SmartSEM ist eine Steuerungssoftware für Elektronenmikroskope, die erweiterte Mikroskopeinstellungen verfügbar macht und Ihnen dabei hilft, auch anspruchsvollste Aufgaben zu bewältigen.

 

Vorteile:

  • Verbesserte Imaging-Bedingungen
  • Zusätzliche Softwaremodule
  • Mehr Informationen aus Ihren Bildern
  • Intuitive Navigation

Produktbroschüre

Software Finder

Ihr Leitfaden für ZEN Upgrades

Die interaktive Auswahlberatung mit Neuigkeiten und Informationen zu Erweiterungen und zusätzlichen Funktionen für Software von ZEISS. Erfahren Sie mehr über ZEISS Software, Workstations und Kompatibilitäten, neue Softwarefunktionen und aktuelle Software-Releases.

 

  • Interaktives Informationstool zu ZEN
  • Einfache Anleitungen für Software-Upgrades
  • Informationen zu Kompatibilitäten von Workstations
  • Mehr zu verfügbaren Software-Zusatzfunktionen
  • Weitere Informationen zu ZEN core

 

Softwaremodulkatalog

Funktionserweiterungen und Leistungsverbesserungen für Ihr Mikroskop

Treffen Sie Ihre Wahl aus unserem breiten Lizenzangebot, um den Funktionsumfang Ihres Systems zu aktualisieren und zu erweitern. So optimieren Sie Ihre Prozesse, die Bedienfreundlichkeit Ihres Systems und verfügen über Tools, die Ihnen noch mehr Informationen liefern.

 

Vorteile:

  • Prozessverbesserungen durch neue Funktionen
  • Komfortablere Verwendung

Produktbroschüre

Shuttle & Find

Brückenschlag zwischen Mikro- und Nanowelt

Mit Shuttle & Find verbinden Sie Ihr ZEISS Elektronenmikroskop mit Ihrem Lichtmikroskop von ZEISS. Mit dieser kombinierten Hard- und Softwarelösung überbringen Sie Ihre Probe in Minutenschnelle von einem Mikroskopsystem an das andere.

Vorteile:

  • Mehr Informationen
  • Schnelle Kalibrierung
  • Flexible Komponentenwahl

Produktbroschüre

Vakuum und Bedienkomfort

Erhöhen Sie Ihren Arbeitskomfort und vereinfachen Sie Ihre Laborroutinen: Arbeiten Sie z. B. mit der Airlock Probenschleuse und erhalten Sie kürzere Beladezeiten und einen höheren Durchsatz. Oder Sie entscheiden sich für den ZEISS ECO Quiet Mode und arbeiten mit einem stark verringerten Geräuschpegel. Mit dem Plasmareiniger dekontaminieren Sie die Probe und die Kammer. Mit Flood Gun oder Charge Compensation, zur Kompensation von Aufladungseffekten, verbessern Sie die Bildqualität.

Airlock Schleuse Kürzere Beladezeiten – höherer Probendurchsatz

Über die Schleuse lassen sich Proben effizient laden, ohne das bestehende Vakuum aufzuheben. So sinkt das Risiko einer Kontamination der Probenkammer. Auch die Probentauschzeit verkürzt sich mit diesem Verfahren deutlich.

 

Vorteile:

  • Deutlich höherer Durchsatz
  • Laden großer Proben
  • Ergonomische, komfortable Bedienung

Produktbroschüre

Charge Compensation

Weniger Aufladungseffekte und Möglichkeit zur In-situ-Reinigung

Das Charge Compensation System sorgt mit der Ionisierung von Stickstoff für die lokale Entladung nichtleitender Proben. Die hohe Auflösung in Kombination mit den zusätzlich erweiterten Analysefunktionen ist durch die Integration eines Ladungskompensationssystems nicht auf leitende Proben begrenzt, sondern auch für alle Arten nichtleitender Proben geeignet.

Vorteile:

  • Erfassung nichtleitender Proben
  • Verbesserte Abbildungsqualität
  • Höhere Produktivität und Vielseitigkeit

Produktbroschüre

Flood Gun

Entladung nichtleitender Proben

Flood Gun ist eine erweiterte Vorrichtung für die Ladungsneutralisierung an positiv geladenen Isolator- und Halbleiterproben. Sie erzeugt einen kontinuierlichen Elektronenfluss, um den Bereich an einer Probe zu entladen, an dem der fokussierte Ionenstrahl netto eine positive Ladung erzeugt hat.

 

Vorteile:

  • Ladungskompensation
  • Verbesserte Bildgebung
  • Verhinderung von Schäden

Produktbroschüre

Plasmareiniger

Schnelle, effektive Kammerreinigung

ZEISS bietet eine schnelle, kosteneffiziente Lösung für die Dekontamination von Proben und Kammern. Mit einem sogenannten Plasmareiniger werden in einem Plasma reaktive Gasphasenradikale erzeugt. Die Radikale wandern in die Gerätekammer und reagieren chemisch mit den unerwünschten Kohlenwasserstoffen.

Vorteile

  • Verbesserte Abbildungsqualität
  • Schnelle Probendekontamination
  • Sichere Dekontamination

Produktbroschüre

ZEISS ECO Quiet Mode

Geringere Geräuschemission und geringerer Energieverbrauch

Mit dem ZEISS Vac ECO Quiet Mode und einem Vakuumbehälter wird die Vorpumpe automatisch abgeschaltet, wenn ein werkseitig voreingestelltes Vakuumniveau erreicht ist. Über den Vakuumbehälter kann das System viele Stunden ohne Einsatz der Vorpumpe laufen. So sinken sowohl der Geräuschpegel als auch der Energieverbrauch.

 

Vorteile:

  • Komfortablere Anwendung
  • High Definition Imaging (HDI)
  • Energieeinsparungen

Produktbroschüre

Weiteres Zubehör

Erweitern Sie Ihr Mikroskop mit weiterem Zubehör wie Probenträgern, der neuesten Version unserer Doppel-Joystick-Steuerung mit Bedienpanel oder einer unterbrechungsfreien Stromversorgung (UPS, Uninterruptible Power Supply), die bei Stromausfällen die Systemsicherheit sicherstellt.

Unterbrechungsfreie Stromversorgung

Schutz für Ihr Mikroskop bei Stromausfall – Verhinderung von Datenverlusten

Das Modul zur unterbrechungsfreien Stromversorgung (UPS) wird eingesetzt, wenn am Systemstandort keine stabile Stromversorgung garantiert werden kann. Es dient dazu, kurze Stromausfälle zu überbrücken und das Mikroskop bei längeren Stromausfällen kontrolliert abzuschalten.

 

Vorteile:

  • Überbrückung kurzer Stromausfälle
  • Sicherheit für Ihr Mikroskop

Produktbroschüre

Doppel-Joystick-Steuerung mit Bedienpanel für SEM

Für die einfache Bedienung Ihres SEM

Durch Ausrüstung der Doppel-Joystick-Steuerung mit Bedienpanel wird die Bedienung Ihres SEM wesentlich komfortabler. Mit der Doppel-Joystick-Steuerung können Sie sowohl den Tisch steuern als auch über die Probe navigieren. Über das Bedienpanel greifen Sie auf die wichtigsten Funktionen Ihres SEM zu.

Vorteile:

  • Viele Kompensationsmöglichkeiten
  • Mehrere Konfigurationsoptionen
  • Komfortable Bedienung

Produktbroschüre

ZEISS Microscopy kontaktieren

Was können wir für Sie tun?

Formular wird geladen ...

/ 4
Nächster Schritt:
  • Schritt 1
  • Schritt 2
  • Schritt 3
Kontaktieren Sie uns
Erforderliche Angaben
Optionale Angaben

Weitere Informationen über die Datenverarbeitung bei ZEISS entnehmen Sie bitte unserem Datenschutzhinweis.

So finden Sie uns