Películas delgadas

Sin embargo uno de los principales desafíos en la investigación de películas delgadas es la captura de imágenes de superficies a alta resolución sin dañar la muestra. También resulta problemática la obtención de datos químicos precisos de alta resolución a partir de las mismas muestras usando EDS, debido al recuento de rayos X extremadamente bajo.

La resolución de estos problemas ha impulsado el desarrollo de herramientas SEM que permiten una captura de imágenes de mayor resolución cada vez a menor kV. De hecho, la captura de imágenes de SEM de alto rendimiento por debajo de 1 kV ahora se considera el mejor estándar para el análisis de materiales en películas delgadas. Y si lo combina con el mapeo EDS de alta resolución usando avanzados sistemas detectores (que maximizan los ángulos sólidos y de elevación), también puede dilucidar datos químicos muy precisos de estas superficies. A su vez, esto le da la confianza de que su espectro o mapa EDS es una representación precisa de su muestra.

ZEISS sigue desarrollando tecnología de captura de imágenes de alta resolución a bajo kV para que pueda seguir avanzando en su investigación. Los modelos ZEISS GeminiSEM, combinados con detectores EDS diseñados específicamente para las columnas ópticas Gemini del SEM, le ayudan a analizar la superficie de las películas delgadas sensibles a haces con una resolución nunca antes vista. Además, se pueden realizar mediciones topográficas en 3D rápidas y no destructivas con técnicas de barrido láser confocal.