Couches minces

L'un des principaux défis de la recherche sur les couches minces est l'imagerie des surfaces à haute résolution sans endommager l'échantillon. L'obtention de données chimiques précises et à haute résolution à partir de ces mêmes échantillons à l'aide de l'EDS est également problématique en raison du nombre extrêmement faible de rayons X.

La résolution de ces problèmes a poussé à développer des outils MEB qui permettent une imagerie à plus haute résolution à des kV de plus en plus faibles. En effet, l'imagerie par MEB haute performance inférieure à 1 kV est désormais considérée comme la référence dans l'analyse de matériaux à couches minces. De plus, en y associant une cartographie EDS haute résolution à l'aide de systèmes de détection avancés (qui maximisent les angles solides et initiaux), vous pouvez également récupérer des données chimiques très précises sur ces surfaces. En retour, vous aurez la certitude que votre spectre ou carte EDS est une représentation précise de votre échantillon.

ZEISS continue de développer une technologie d'imagerie à faible kV et haute résolution afin de vous aider à faire progresser vos recherches. Les ZEISS GeminiSEM, associés aux détecteurs EDS spécialement conçus pour les colonnes de MEB optiques Gemini, vous aident à analyser la surface des couches minces sensibles au faisceau avec une résolution jamais vue auparavant. De surcroît, des mesures topographiques 3D rapides et non destructives peuvent être effectuées optiquement à l'aide de techniques de balayage laser confocal.