Exemple de microfluides : Nano-canaux de 20 nm de large dans diverses configurations jusqu'à 20 μm de longueur.
Applications de microscopie pour les nanomatériaux et les nanosciences

Micro et nanofluidique

Nanostructuration précise et imagerie non destructive et sans charge des futurs dispositifs nanofluidiques

Les dispositifs nanofluidiques peuvent vous aider à étudier les processus scientifiques fondamentaux et à examiner une variété de mécanismes tels que la nanocapillarité, le transport de masse dans des structures confinées et les interactions ADN-protéines.

L'un des avantages des dispositifs nanofluidiques pour ces études est leur flexibilité en termes de taille et de forme. Ces caractéristiques peuvent être conçues avec précision à l'aide de faisceaux d'électrons et d'ions, permettant aux scientifiques d'ajuster diverses propriétés selon les besoins. Afin de fabriquer des dispositifs nanofluidiques avec la précision nécessaire pour les applications futures, les outils FIB-SEM standard sont loin d'être parfaits.

Les outils standard ne sont pas suffisants  

Par exemple, le chargement d'échantillons isolants dans un MEB pose un problème de taille, car il déforme l'image. L'une des solutions consiste à déposer un métal conducteur à la surface de l'échantillon à étudier. Toutefois, cette démarche endommage l'échantillon et le rend inexploitable par la suite. D'autre part, la neutralisation de charge dans un MEB signifie que vous pouvez capturer des échantillons nanofluidiques de manière non destructive et sans les recouvrir d'une couche mince métallique.

Les instruments FIB-SEM traditionnels ne suffisent plus pour la recherche actuelle sur les nanomatériaux. Lorsqu'il s'agit de pousser plus loin la nanofluidique, la capacité de combiner des performances d'imagerie exceptionnelles par MEB avec un débit d'échantillons FIB élevé est essentielle. La capacité à mettre à niveau votre FIB-SEM de manière modulaire au fur et à mesure que vos besoins évoluent est également importante. Grâce au concept de plateforme modulaire, votre microscope peut répondre à vos demandes croissantes de recherche.

Vous avez besoin des outils adaptés à vos recherches  

En résumé : les outils que vous utilisez doivent suivre le rythme de vos exigences. C'est pourquoi ZEISS s'engage à aider les scientifiques à faire avancer la recherche nanofluidique. Vous bénéficiez d'une imagerie MEB haute performance à faible kV et non destructive, combinée à un débit d'échantillons FIB élevé et à des capacités d'enlèvement massif de matière.

Exemples d'application

Détail : canal en méandre. Image d'échantillon reproduite avec l'aimable autorisation de : I. Fernández-Cuesta, INF Hambourg, Allemagne. Champ d'observation 100 µm
Canaux nanofluidiques produits par FIB dans un tampon en silicium
Modelés avec le module NPVE de ZEISS Atlas 5, champ d'observation 59 μm.
Les nano-canaux de 20 nm de large jusqu'à 20 μm de longueur sont modelés avec le module NPVE de ZEISS Atlas 5, champ d'observation 59 μm.

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Téléchargements

  • Fabrication and Characterization of Nanofluidic Devices for DNA Optical Mapping

    4 MB