Logiciel

ZEISS 3DSM

Analyse d'échantillons topographiques en 3D

Votre microscope électronique à balayage mesure et analyse tous les types d'échantillons en 2D : pour analyser les surfaces des échantillons en 3D, utilisez le pack logiciel en option 3DSM de ZEISS. Obtenez des informations topographiques en reconstruisant un modèle 3D complet de la surface de votre échantillon à l'aide des signaux émis par les détecteurs d'électrons rétrodiffusés.

Réalisez une modélisation de surface en 3D avec votre MEB
Utilisez 3DSM pour reconstruire les topographies de surface
Optez pour SEM Map pour ajouter la quantification à vos mesures

Modélisation de surface 3D

Utilisez votre MEB pour reconstruire les surfaces de vos échantillons

Les mesures de hauteur de profil sont des exemples typiques d'utilisation. Elles sont généralement effectuées par un profilomètre ou un AFM dans un laboratoire de recherche ou de qualité industriel, par exemple pour l'évaluation rapide de surfaces usinées ou de processus de prise d'empreinte. Ces deux techniques n'offrent pas la possibilité de localiser les régions d'intérêt comme le fait le MEB. Sur demande, la précision de mesure est ajustée spécifiquement pour votre instrument en utilisant une norme d'étalonnage avec des hauteurs d'échelon définies.

SEM Map

Améliorez votre MEB à émission de champ ZEISS avec le pack en option SEM Map et obtenez des mesures automatiques et une documentation conforme aux normes ISO 25178, DIN et ASME et aux autres normes pour les contrôles de routine.
Analysez les surfaces en 3D et générez des enregistrements de mesure complets.
Caractérisez les surfaces et les profils en incluant des paramètres tels que la hauteur d'échelon, la distance, le contour à l'échelle nanométrique, la rugosité et l'ondulation ainsi que la taille des particules et des grains.
Créez des rapports métrologiques entièrement traçables.

3DSM

Effectuez une reconstruction de surface 3D d'échantillons adaptés examinés avec des microscopes électroniques équipés d'un détecteur aBSD (rétrodiffusion annulaire), AsB (rétrodiffusion sélective angulaire, gamme GeminiSEM uniquement) ou BSD1 (EVO).
Combinez 3DSM avec SmartSEM, le logiciel qui pilote le MEB, pour une imagerie 3D en temps réel ou séquentielle, ou utilisez-le en mode autonome pour visualiser les fichiers de projet archivés.
Bénéficiez d'un fonctionnement en temps réel et de temps de reconstruction < 2s grâce à GeminiSEM ; Sigma et EVO restituent les images de manière séquentielle.
L'algorithme sous-jacent « shape from shading » se charge de la reconstruction.
En quelques clics, effectuez des mesures de base telles que les dimensions du profil et les évaluations de la rugosité en 2D et 3D directement sur le modèle 3D qui en résulte.
3DSM est désormais doté d'une nouvelle interface graphique, orientée en fonction des étapes du processus : positionnement, acquisition et correction.
Bénéficiez de nouvelles valeurs de rugosité standard (Ra, Sa) et de nouveaux filtres pour corriger l'ondulation et le bruit.