Produit

Série ZEISS EVO La plateforme MEB modulaire au fonctionnement intuitif, pour les contrôles de routine et les applications de recherche

Les microscopes électroniques à balayage de la série EVO combinent de hautes performances et une expérience conviviale et intuitive qui convient à tous les profils d'utilisateurs, des microscopistes confirmés aux novices. Grâce à sa gamme complète d'options, EVO s'adapte à la perfection à vos exigences, que vous travailliez dans les sciences de la vie, les sciences des matériaux, l'assurance qualité industrielle de routine ou l'analyse des défaillances.

Solution polyvalente pour des plateformes de microscopie centrales ou des laboratoires d'assurance qualité industrielle
Images d'excellente qualité à partir de tout échantillon du monde réel
Qualité d'image maximale grâce à l'émetteur en hexaborure de lanthane (LaB₆)
Excellence de l'imagerie et de l'analyse sur des échantillons non revêtus et non conducteurs
Automatisation du processus et intégrité des données

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L'interface utilisateur de SmartSEM Touch assiste les opérateurs industriels nécessitant des processus automatisés pour des tâches d'inspection répétitives.

Facilité d'utilisation exceptionnelle

Avec SmartSEM Touch, contrôlez le processus interactif du bout des doigts. Son fonctionnement, rapide et simple à assimiler, réduit significativement les efforts et coûts de formation. Quelques minutes seulement suffisent même aux utilisateurs novices pour commencer à capturer des images de haute qualité. Cette interface utilisateur assiste également les opérateurs industriels nécessitant des processus automatisés pour des tâches d'inspection répétitives.

Pierre à briquet, particule de ferrocérium provenant d'un allume-feu, image capturée avec ZEISS EVO, détecteur HDBSD.

Excellente qualité d'image

EVO parvient toujours à obtenir une qualité maximale des données à partir d'échantillons non enduits et non modifiés. EVO préserve également la qualité des données sur des échantillons hydratés et fortement contaminés en leur permettant de rester dans leur état natif. L'émetteur en LaB₆ apporte un avantage supplémentaire au niveau de la résolution, du contraste et du rapport signal sur bruit, ce qui se révèle important lorsque l'imagerie et la microanalyse se compliquent.

_{Légende : pierre à briquet, particule de ferrocérium provenant d'un allume-feu, image capturée avec ZEISS EVO, détecteur HDBSD.}

EVO a l'esprit d'équipe

EVO peut être configuré pour faire partie d'un processus multimodal semi-automatisé comportant des outils de relocalisation des zones d'intérêt et une gestion de la traçabilité des informations, acquises avec des modalités d'imagerie multiples. Combinez les données de microscopes optiques et électroniques pour la caractérisation de matériaux ou l'inspection de pièces. Vous pouvez également combiner EVO avec des microscopes optiques ZEISS pour l'analyse corrélative de particules.

Rassemblez votre équipe

Selon l'environnement du laboratoire, le fonctionnement du MEB peut être du ressort exclusif d'experts en microscopie électronique. Cette situation est toutefois contestée, car les utilisateurs non experts tels que des étudiants, stagiaires ou ingénieurs qualité ont eux aussi couramment besoin de données provenant du MEB. EVO prend ces exigences en considération avec ses options d'interface utilisateur qui s'adaptent tant aux besoins opérationnels de microscopistes expérimentés que de non-microscopistes.

Les utilisateurs experts ont accès à des paramètres d'imagerie et à des fonctions d'analyse avancés.

Les utilisateurs novices ont accès à des processus d'acquisition prédéfinis et aux paramètres les plus fréquemment utilisés – parfait pour débuter.

Navigation et imagerie intelligentes

Augmentez le rendement, la productivité et les performances des échantillons

Caméra de navigation ZEISS

Une caméra peut être montée sur la chambre pour surveiller la position des échantillons par rapport au détecteur rétrodiffusé fixé à la pièce polaire (caméra de visualisation de la chambre). Elle peut aussi être montée sur la porte de la chambre sous vide (caméra de navigation) pour permettre une vue en survol de la disposition des échantillons ou pièces sur le porte-échantillons. Cette vue peut être utile pour paramétrer des zones d'intérêt prédéfinies, identifiées à partir d'une image de microscope optique, et pour simplifier la navigation tout au long du processus d'investigation de l'échantillon.
Imagerie intelligente automatisée

EVO permet l'acquisition automatisée et sans surveillance d'images de lots d'échantillons. L'imagerie intelligente automatisée ZEISS convient parfaitement aux inspections de routine. Elle permet à l'utilisateur de définir une région limitrophe, de générer automatiquement des régions d'intérêt déterminées par le champ d'observation ou le grossissement requis, et de lancer l'acquisition automatisée. L'imagerie intelligente automatisée améliore la cadence d'imagerie d'échantillons, augmentant ainsi la productivité et les performances.

Passez au niveau supérieur dans vos analyses

Des données plus qualitatives grâce à un émetteur d'électrons en hexaborure de lanthane (LaB₆)

L'émission d'électrons par une cathode en hexafluorure de lanthane, plutôt qu'un filament traditionnel en tungstène, vous garantit une meilleure qualité d'imagerie quand vous en avez besoin. Vous pouvez tirer parti de cet avantage de deux manières :

À des tailles équivalentes de sondes d'électrons (c'est-à-dire la résolution), le courant de sonde utilisé pour travailler est supérieur, ce qui facilite la navigation et l'optimisation de l'image.
Pour des courants de sonde équivalents (rapport signal sur bruit), le diamètre du faisceau est beaucoup plus petit et permet donc d'obtenir une meilleure résolution d'imagerie.

EVO a l'esprit d'équipe

Découvrez les avantages du processus automatisé et de la microscopie corrélative

EVO et l'écosystème de ZEN core — 1. analyse post-acquisition, 2. analyse contextuelle, 3. création de rapports intégrée, 4. segmentation automatisée

Plus de possibilités avec ZEISS ZEN core

Votre suite logicielle pour la microscopie connectée et l'analyse d'images

ZEISS étant le fournisseur de systèmes de microscopie et de métrologie, vous avez la garantie qu'EVO se combine extrêmement bien avec les autres solutions ZEISS. Établissez un processus multimodal extrêmement productif entre des microscopes optiques (numériques) et EVO. Combinez les méthodes uniques de contraste optique de votre microscope optique avec les méthodes tout aussi uniques d'imagerie et d'analyse de votre MEB pour obtenir des données complémentaires et des informations beaucoup plus probantes sur le matériau, la qualité ou le mécanisme de défaillance de votre échantillon.

Bénéficiez des nombreux atouts de ZEN core en tant que hub pour la microscopie connectée. Adaptez ses fonctions à vos applications spécifiques et définissez des processus qui tiennent compte du niveau d'expérience des microscopistes dans votre environnement multi-utilisateurs.

Bénéficiez de nombreux avantages

Microscopie corrélative : échange d'échantillons et de données entre microscopes optiques, numériques et électroniques.
Représentation des données contextuelles : visualisation et organisation des données dans les différentes échelles et modalités d'imagerie.
Applications métallographiques, y compris les rapports basés sur Microsoft Word : rapports intégrés à partir d'images et d'ensembles de données connectés.
Analyse automatisée d'images basée sur l'apprentissage profond : segmentation de l'image basée sur des algorithmes d'apprentissage automatique.

Optimisés pour les applications de microanalyse courantes

Les technologies du MEB et EDS doivent être associées avec une attention particulière. SmartEDX sur EVO convient parfaitement aux applications de microanalyse courantes, en particulier pour les clients ayant des exigences élevées concernant la reproductibilité des données. Il assure le débit le plus élevé à une résolution énergétique de 129 eV et un courant de sonde de 1-5 nA – des conditions d'exploitation typiques d'EVO. SmartEDX est optimisé pour la détection des rayons X à faible puissance provenant d'éléments lumineux grâce à la transmissivité supérieure de la fenêtre en nitrure de silicium.

Interface utilisateur graphique guidée par processus

Interface utilisateur graphique guidée par processus

SmartEDX a été développé pour améliorer à la fois la simplicité d'utilisation et la reproductibilité du processus dans les environnements multi-utilisateurs. À l'instar d'autres solutions ZEISS guidées par processus, telles que SmartSEM Touch ou ZEN core, le logiciel SmartEDX pour EVO est simple à assimiler et son utilisation est intuitive. Il assure la reproductibilité de tâches analytiques sur le MEB, notamment dans les environnements où plusieurs opérateurs utilisent le système. SmartEDX est disponible soit en tant que détecteur EDS au meilleur rapport qualité-prix dans une configuration fixe, soit en tant que version coulissante flexible et toujours pratique.
Simplifiez l'exploitation et collectez des données EDS plus efficacement

Simplifiez l'exploitation et collectez des données EDS plus efficacement

Contrôlez l'EDS et le MEB en parallèle à l'aide d'un seul PC. Cette intégration améliore l'ergonomie d'utilisation. Vous profiterez, dans le même temps, d'interfaces utilisateur dédiées pour votre microscope et votre système EDS. Réduisez le temps d'acquisition EDS en exploitant l'intégration optimisée du détecteur qui augmente les entrées de signaux EDS d'au moins 17 %.

Vous avez le choix entre différentes configurations du détecteur EDS

Vous avez le choix entre différentes configurations du détecteur EDS

La solution PC unique vous offre diverses configurations EDS : les détecteurs Xplore 15, 30 et Ultim Max 40 d'Oxford Instruments sont disponibles sur commande.
Service complet et assistance pour les systèmes ZEISS

Dans la mesure où SmartEDX est entièrement pris en charge par ZEISS, cette solution EDS est idéale pour les clients qui souhaitent rationnaliser le nombre de leurs fournisseurs d'équipements analytiques. L'installation, la maintenance préventive, la garantie, les diagnostics et les réparations, la logistique des pièces détachées et l'inclusion dans les contrats de service du système sont entièrement gérés par ZEISS, ce qui facilite l'assistance pour votre solution MEB analytique.

La série EVO

	ZEISS EVO 10	ZEISS EVO 15	ZEISS EVO 25
	Choisissez EVO 10 avec son détecteur rétrodiffusé et l'analyse élémentaire EDS en option comme point d'entrée dans la microscopie électronique à balayage, à un prix remarquablement avantageux. En optant pour EVO, vous disposerez d'une installation prête pour les applications nécessitant plus d'espace et de ports que dans vos prévisions actuelles.	EVO 15 excelle dans les applications analytiques. Optez pour la chambre sous vide plus grande et bénéficiez d'une solution polyvalente et multifonctionnelle pour les installations centrales de microscopie ou les laboratoires industriels d'assurance qualité.	EVO 25 est la solution pour les échantillons de grande taille. Étendez ses capacités à l'aide d'une platine mobile sur Z de 80 mm en option, qui supporte jusqu'à 2 kg, même en inclinaison. La grande chambre s'adapte par ailleurs à de nombreux détecteurs analytiques pour les applications les plus exigeantes en microanalyse.
Hauteurs maximales des échantillons	100 mm	145 mm	210 mm
Diamètre maximal des échantillons	230 mm	250 mm	300 mm
Déplacement motorisé de la platine XYZ	80 × 100 × 35 mm	125 × 125 × 50 mm	130 x 130 x 50 (ou 80) mm

Accessoires

Capture d'image d'une Radiolaria alga non recouverte à une énergie d'impact de 1 kV. Après avoir appliqué la décélération du faisceau, les détails et le contraste de la surface sont améliorés et les artéfacts de charge sont réduits.

Capture d'image d'une Radiolaria alga non recouverte à une énergie d'impact de 1 kV. L'imagerie sans décélération du faisceau montre des artéfacts de charge (à gauche). Après avoir appliqué la décélération du faisceau, les détails et le contraste de la surface sont améliorés et les artéfacts de charge sont réduits (à droite).

Imagerie avec Beam Deceleration

Utilisez l'imagerie avec décélération du faisceau pour examiner les échantillons particulièrement fragiles. Obtenez une meilleure qualité d'image et minimisez les dommages causés aux échantillons. Capturez les détails de spécimens non conducteurs avec une résolution plus élevée, une plus grande sensibilité de surface et plus de contraste. Une tension de polarisation est appliquée à votre échantillon, ce qui réduit l'énergie d'impact effective en maintenant l'énergie primaire à un niveau élevé.

Applications

$Surface de fracture d'acier inoxydable, image capturée avec des électrons secondaires sous vide poussé.$

Revêtement e-coat zinc-phosphate, image capturée avec détecteur SE sous vide poussé.

Revêtement e-coat zinc-phosphate, image capturée avec détecteur SE sous vide poussé.
Mousse de coussin de siège automobile, image capturée sans revêtement en mode pression variable avec détecteur BSE.

Mousse de coussin de siège automobile, image capturée sans revêtement en mode pression variable avec détecteur BSE.
$Surface de fracture d'acier inoxydable, image capturée avec des électrons secondaires sous vide poussé.$

$Surface de fracture d'acier inoxydable, image capturée avec des électrons secondaires sous vide poussé.$

Surface de fracture d'acier inoxydable, image capturée avec des électrons secondaires sous vide poussé.

Surface de fracture d'acier inoxydable, image capturée avec des électrons secondaires sous vide poussé.

Industries de fabrication et d'assemblage

Analyse de la qualité et contrôle qualité
Analyse des défaillances et métallographie
Inspection de propreté
Analyse morphologique et chimique des particules pour satisfaire les normes ISO 16232 et VDA 19 parties 1 et 2
Analyse des inclusions non métalliques

Inspection de câblage par fil à l'aide de l'imagerie en électrons secondaires sous vide poussé ou en mode pression variable.

Inspection de câblage par fil à l'aide de l'imagerie en électrons secondaires sous vide poussé ou en mode pression variable.
Couche de nickel corrodée, image capturée par électrons secondaires.

Couche de nickel corrodée, image capturée par électrons secondaires.
Image SE révélant la formation de barbe sur un appareil électronique.

Image SE révélant la formation de barbe sur un appareil électronique.

Semi-conducteurs et composants électroniques

Inspection visuelle de composants électroniques, circuits intégrés, dispositifs MEMS et cellules solaires
Investigation de la surface de fils de cuivre et de la structure cristalline
Investigations de la corrosion du métal
Analyse de défaillance en coupe transversale
Inspection des points de jonction
Imagerie de la surface d'un condensateur

Coupe transversale d'acier doux galvanisé, image capturée à l'aide du détecteur SE sur EVO 15.

Coupe transversale d'acier doux galvanisé, image capturée à l'aide du détecteur SE sur EVO 15.
Surface d'acier S355 après grenaillage à l'alumine F80.

Surface d'acier S355 après grenaillage à l'alumine F80.
Surface d'un alliage de titane (Ti-6Al-4V) obtenue par fabrication additive par fusion sélective au laser, montrant des régions entièrement fondues le long de particules Ti-6Al-4V non fondues et d'autres matériaux.

Surface d'un alliage de titane (Ti-6Al-4V) obtenue par fabrication additive par fusion sélective au laser, montrant des régions entièrement fondues le long de particules Ti-6Al-4V non fondues et d'autres matériaux.

Acier et autres métaux

Imagerie et analyse de la structure, chimie et cristallographie d'échantillons et d'inclusions métalliques
Analyse de phases, particules, soudures et défaillances

Carte minérale Mineralogic de schiste bleu. Échantillon : avec l'aimable autorisation de S. Owen.

Carte minérale Mineralogic de schiste bleu. Échantillon : avec l'aimable autorisation de S. Owen.
Particules résiduelles de laitier de cuivre provenant d'une grande fonderie de cuivre en Zambie. Échantillon reproduit avec l'aimable autorisation de Petrolab, R.U.

Particules résiduelles de laitier de cuivre provenant d'une grande fonderie de cuivre en Zambie. Échantillon reproduit avec l'aimable autorisation de Petrolab, R.U.
Granite peralcalin du nord du Québec contenant des minéraux de terres rares, y compris une veine de fluorite qui traverse l'échantillon et des zircons zonés.

Granite peralcalin du nord du Québec contenant des minéraux de terres rares, y compris une veine de fluorite qui traverse l'échantillon et des zircons zonés.

Matériaux bruts

Analyse morphologique, minéralogique et compositionnelle d'échantillons géologiques
Imagerie et analyse de la structure de métaux, des fractures et inclusions non métalliques
Analyse morphologique et compositionnelle de produits chimiques bruts et d'ingrédients actifs pendant des processus de micronisation et de granulation

Expansion et réseaux anti-fissuration de minéraux auto-régénérants ; l'image capturée à l'aide d'un détecteur SE à 12 kV montre que des structures d'hydromagnésite en forme de fleurs se forment.

Expansion et réseaux anti-fissuration de minéraux auto-régénérants ; l'image capturée à l'aide d'un détecteur SE à 12 kV montre que des structures d'hydromagnésite en forme de fleurs se forment.
Structure en mousse de graphène d'un module de batterie ; image capturée sous vide poussé avec un détecteur SE.

Structure en mousse de graphène d'un module de batterie ; image capturée sous vide poussé avec un détecteur SE.
Matériau composite utilisé dans le domaine de l'aérospatiale, image capturée avec le détecteur C2D à 10 kV, en mode de pression variable.

Matériau composite utilisé dans le domaine de l'aérospatiale, image capturée avec le détecteur C2D à 10 kV, en mode de pression variable.

Recherche en sciences des matériaux

Caractérisation d'échantillons de matériaux conducteurs et non conducteurs à des fins de recherche

Image en fausses couleurs du mildiou à la surface d'une feuille. Image capturée par un détecteur C2DX à 570 Pa, vapeur d'eau à 1 °C, 20 kV.

Image en fausses couleurs du mildiou à la surface d'une feuille. Image capturée par un détecteur C2DX à 570 Pa, vapeur d'eau à 1 °C, 20 kV.
Détail d'un pseudoscorpion, image capturée avec le détecteur BSE sous vide poussé à 20 kV.

Détail d'un pseudoscorpion, image capturée avec le détecteur BSE sous vide poussé à 20 kV.
Pollen d'arbre, image capturée avec pression étendue et détecteur C2DX, à une humidité relative avoisinant les 100 %.

Pollen d'arbre, image capturée avec pression étendue et détecteur C2DX, à une humidité relative avoisinant les 100 %.

Sciences de la vie

Recherche sur les plantes, animaux et micro-organismes

Le verre fondu solidifié sur un fragment de tungstène indique que le bulbe était actif au moment de l'incident.

Le verre fondu solidifié sur un fragment de tungstène indique que le bulbe était actif au moment de l'incident.
Le détecteur C2D produit d'excellentes images d'échantillons non métallisés, en mode pression variable, qui conviennent parfaitement à la comparaison médico-légale de fibres.

Le détecteur C2D produit d'excellentes images d'échantillons non métallisés, en mode pression variable, qui conviennent parfaitement à la comparaison médico-légale de fibres.
La marque d'un percuteur sur une chambre de munitions peut être utilisée pour aider à identifier l'arme.

La marque d'un percuteur sur une chambre de munitions peut être utilisée pour aider à identifier l'arme.

Médecine légale

Résidus de tir (RT)
Analyse de la peinture et du verre
Billets de banque et fausse monnaie
Comparaison de poils et de fibres
Toxicologie médico-légale

Téléchargements

ZEISS SmartEDX

The ZEISS Embedded EDS Solution for Your Routine SEM Microanalysis Applications

2 MB

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Reduced Energy Consumption

Optimized Operating Efficiency

340 KB

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ZEISS EVO

Microscope électronique à balayagee

12 MB

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ZEISS Microscopy Solutions for Steel and Other Metals

Multi-modal characterization and advanced analysis options for industry and research

14 MB

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ZEISS Solutions for Semiconductor Development, Manufacturing, and Analysis

Accelerating Digital Transformation and Innovation for Semiconductor Electronics

13 MB

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Python Blood Analysis by STEM

5 MB

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Use Case: ZEISS Microscopes in Restoration and Conservation

The Imperial Carriage Museum in Vienna, Austria

4 MB

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Using ZEISS SmartSEM Touch

for Fast and Reproducible Routine Inspection

2 MB

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ZEISS EVO MA and LS Fisheye OptiBeam Mode

591 KB

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Beam Deceleration Imaging with ZEISS EVO

Receive high quality images with enhanced surface contrast and topographical detail for low kV imaging and life science samples

845 KB

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Concrete Crack Self-healing Materials Micro Structure Investigation

1 MB

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Coolstage benefits on ZEISS EVO

4 MB

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Enhancing Material Inspection and Characterization Information and Data Integrity

By Combining Light and Scanning Electron Microscopy in a Correlative Workflow

1 MB

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Imaging Solutions for the Paper Technology Industry

3 MB

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ZEISS EVO

Forensic Paint Analysis

951 KB

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ZEISS Microscopy Solutions for Oil & Gas

Understanding reservoir behavior with pore scale analysis

7 MB

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Poster: A Small World of Huge Possibilities

To the DIFFRACTION LIMIT ...and BEYOND

12 MB

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