Produit

ZEISS Sigma FE-SEM pour l'imagerie haute qualité et la microscopie analytique avancée

La série ZEISS Sigma combine la technologie de microscope électronique à balayage à émission de champ (FE-SEM) avec une excellente expérience d'utilisation. Elle contribue à structurer vos routines d'imagerie et d'analyse et à augmenter la productivité. Étudiez de nouveaux matériaux, des particules définies pour le contrôle de la qualité ou des échantillons biologiques ou géologiques. N'acceptez aucun compromis en imagerie haute résolution : utilisez des tensions basses et bénéficiez d'une résolution et d'un contraste améliorés à 1 kV ou moins. Réalisez des travaux de microscopie analytique avancée grâce à la meilleure géométrie EDS de sa catégorie et obtenez des données analytiques plus précises, deux fois plus rapidement.

Grâce à la série Sigma, accédez au niveau supérieur de la nano-analyse.

Sigma 360 est la solution de choix pour les centres d'imagerie : un FE-SEM intuitif pour l'imagerie et la microscopie analytique.
Sigma 560 utilise la meilleure géométrie EDS de sa catégorie pour fournir des analyses à haut rendement et l'automatisation d'expériences in situ.

Polystyrène, image capturée en mode NanoVP lite. — Polysterene, imaged with NanoVP lite mode.

Sigma 360

Le choix des centres d'imagerie. Acquisition intuitive.

Bénéficiez d'un guidage précis, de la séquence de réglages aux résultats assistés par IA. Découvrez un processus d'imagerie intuitif.
Expérimentez la différence jusqu'à 1 kV. Améliorez la résolution et le contraste.
Réalisez une imagerie à pression variable aux extrêmes pour obtenir d'excellents résultats sur des échantillons non conducteurs.

Laissez-vous guider par le processus d'imagerie intuitif

De la séquence de réglages aux résultats basés sur l'IA

Obtenez des résultats dignes d'un expert, même si vous êtes inexpérimenté. Profitez d'un délai d'acquisition très rapide et gagnez du temps sur la formation grâce à un flux de tâches simple à assimiler et à utiliser, qui vous permettra de simplifier chaque étape, de la navigation au post-traitement.
L'automatisation logicielle dans ZEISS SmartSEM Touch vous aide pour la navigation, le réglage des paramètres et l'acquisition d'images.
ZEN core vous propose ensuite des boîtes à outils spécifiques aux tâches et est parfaitement adapté au post-traitement. La boîte à outils la plus recommandée est la boîte à outils IA, laquelle vous permet de segmenter des images sur la base de l'apprentissage automatique. La boîte à outils Connect, elle, permet de combiner les expériences multimodales. Ou les Materials Apps pour analyser la microstructure, la granulométrie ou l'épaisseur du revêtement.
Expérimentez la différence jusqu'à 1 kV

Résolution améliorée. Contraste optimisé

La colonne optique est la clé de la performance dans l'imagerie et l'analyse. Sigma fonctionne avec l'optique électronique ZEISS Gemini 1 qui fournit une excellente résolution sur tous les échantillons, notamment à basse tension.
La résolution à faible kV pour Sigma 360 est maintenant spécifiée à 500 V avec 1,9 nm. Une amélioration dans la résolution 1 kV de plus de 10 % — à 1,3 nm — a été obtenue en minimisant les aberrations chromatiques.
L'imagerie n'a jamais été aussi simple, même pour des échantillons complexes et avec la détection par rétrodiffusion en mode de pression variable (VP).
Réalisez une imagerie à pression variable aux extrêmes

Mode NanoVP lite pour l'analyse et l'imagerie

Le nouveau mode NanoVP lite et les nouveaux détecteurs permettent d'obtenir facilement des données de haute qualité provenant de non-conducteurs au-dessous de 5 kV.
En conséquence, l'imagerie et l'analyse EDS sont améliorées et permettent d'obtenir davantage d'informations sensibles à la surface, des temps d'acquisition plus rapides et un courant de faisceau primaire amélioré pour une cartographie EDS plus rapide.
De nouveaux détecteurs tels que l'aBSD1 (détecteur électronique annulaire à rétrodiffusion) ou le C2D nouvelle génération (courant en cascade) offrent d'excellentes images à basse tension.

Haute résolution à 500 V : la taille mesurée de cette strate d'une sphère frittée à l'échelle nanométrique en Al2O3 est de 3 nm. Image capturée avec Sigma 560, détecteur Inlens SE, 500 V.

Sigma 560

Analyse à débit élevé. Expériences in situ automatiques.

Analyse performante d'échantillons réels : analyses rapides et polyvalentes sur le MEB.

Automatisez vos expériences in situ : un laboratoire entièrement intégré pour réaliser des tests sans surveillance.

Réalisez des images d'échantillons complexes en dessous de 1 kV : collectez des informations exhaustives sur les échantillons.

Analyse performante d'échantillons réels

Menez des observations polyvalentes et gagnez en vitesse avec le mode EDS

La géométrie EDS du Sigma 560, qui excelle dans sa catégorie, augmente votre productivité analytique. Les deux ports EDS opposés à 180° garantissent un rendement et une cartographie sans ombre, même à courant de faisceau faible et basse tension d'accélération.

Des ports additionnels pour EBSD et WDS sur la chambre permettent de réaliser des analyses au-delà de l'EDS.

Les matériaux non conducteurs peuvent également être analysés à l'aide du nouveau mode NanoVP lite, grâce à un signal plus fort et davantage de contraste.

Le nouveau détecteur aBSD4 acquiert facilement des images sur des échantillons très topographiques.
Automatisez vos expériences in situ

Un laboratoire entièrement intégré pour des tests sans surveillance

Le laboratoire in situ pour Sigma, solution entièrement intégrée, permet de réaliser des expériences de chauffage et de traction dans un processus automatisé sans surveillance, dont les résultats seront totalement indépendants de l'opérateur.

Élargissez encore davantage votre processus en analysant des caractéristiques nanométriques en 3D : effectuez une tomographie STEM 3D ou exécutez une segmentation des images basée sur l'IA.

Le nouveau aBSD4 permet de générer une modélisation des surfaces en direct et en 3D (3DSM).
Capturez facilement des images d'échantillons complexes

Expérimentez la différence jusqu'à 1 kV

Obtenez les informations les plus fiables à partir de l'imagerie et de l'analyse à 1 kV ou même à 500 V : la résolution à faible kV spécifiée pour Sigma 560 est de 1,5 nm à 500 V.

Examinez facilement des échantillons complexes sous pression variable dans le nouveau mode NanoVP lite, avec des tensions d'accélération aussi basse que 3 kV, à l'aide du nouveau détecteur aBSD ou C2D.

Lorsque vous étudiez des dispositifs électroniques, vous devez conserver un environnement parfaitement propre. Protégez votre chambre de la contamination au moyen d'un nettoyeur plasma (vivement recommandé) et du nouveau grand sas qui permet le transport de wafers de 6".

Technologie

Coupe transversale schématique de la colonne optique Gemini avec accélérateur de faisceau, détecteur Inlens et objectif Gemini.

Optique Gemini 1

L'optique Gemini 1 se caractérise par trois éléments : les objectifs, l'accélérateur de faisceau et le concept de détection Inlens. La conception de l'objectif associe des champs électrostatique et magnétique afin de maximiser les performances optiques en réduisant à un niveau minimal les influences des champs sur l'échantillon. Cette technique produit une excellente imagerie, même sur des échantillons difficiles tels que les matériaux magnétiques. Le concept de détection Inlens garantit une détection efficace du signal à partir des électrons secondaires (SE) et/ou rétrodiffusés (BSE), en réduisant le temps d'acquisition de l'image. L'accélérateur de faisceau permet de garantir une petite taille de sondes et des rapports signal sur bruit élevés.

Colonne Gemini 1 de Sigma avec détecteurs. 1 Détecteurs Inlens, SE ou Duo. 2 Détecteur ETSE, 3 VPSE, 4 C2D, 5 aSTEM, 6 / 7 Détection EDS avancée et différents détecteurs rétrodiffusés, p. ex. aBSD1.

Détection flexible

Sigma propose une série de détecteurs variés. Caractérisez vos échantillons grâce à la technologie de détection la plus moderne. Obtenez des informations topographiques en haute résolution à l'aide des détecteurs ETSE et Inlens pour mode vide poussé. Saisissez des images nettes en mode pression variable grâce à VPSE ou au détecteur C2D. Générez des images de transmission en haute résolution grâce au détecteur aSTEM. Enfin, étudiez la composition et la topographie avec différents détecteurs BSE en option, p. ex. le détecteur aBSD.

Standard VP | modes, diffusion du gaz (rose), dispersion du faisceau d'électrons (vert).

Mode standard VP (à gauche) et NanoVP lite (à droite), diffusion du gaz (rose), dispersion du faisceau d'électrons (vert).

Mode NanoVP lite

Utilisez le mode NanoVP lite pour les travaux d'analyse et d'imagerie. Bénéficiez d'une meilleure qualité d'image, notamment à faible kV et obtenez plus rapidement des données analytiques plus précises.

En mode NanoVP lite, l'effet de dispersion et la longueur de trajet du gaz du faisceau (BGPL) sont réduits. La diminution de la dispersion entraîne une amélioration du rapport signal sur bruit dans l'imagerie SE et BSE.
Le détecteur aBSD rétractable et ses cinq segments annulaires assurent un excellent contraste des matériaux : ils soutiennent le manchon du faisceau et se placent sous la pièce polaire pendant le fonctionnement en mode NanoVP lite. Il permet d'obtenir une imagerie de contraste topographique et de composition à haut rendement et à basse tension et s'avère idéal pour la pression variable (VP) et le vide poussé (HV).

Applications

$La surface d'un échantillon de polystyrène a été fracturée pour comprendre la formation de fissures et l'adhérence aux interfaces dans les polymères$

$La surface d'un échantillon de polystyrène a été fracturée pour comprendre la formation de fissures et l'adhérence aux interfaces dans les polymères$

$La surface d'un échantillon de polystyrène a été fracturée pour comprendre la formation de fissures et l'adhérence aux interfaces dans les polymères$

La surface d'un échantillon de polystyrène fracturé a été représentée pour comprendre la formation de fissures et l'adhérence aux interfaces dans les polymères. Sigma 560,
3 kV, mode NanoVP lite à une pression de chambre de 60 Pa, C2D G2.

La surface d'un échantillon de polystyrène fracturé a été représentée pour comprendre la formation de fissures et l'adhérence aux interfaces dans les polymères. Sigma 560,
3 kV, mode NanoVP lite à une pression de chambre de 60 Pa, C2D G2.
Avec l'aimable autorisation du Dr V. Brune, Institut de chimie inorganique, Université de Cologne (Allemagne).
Capsules de silice mésoporeuse creuse (MSC) pour l'administration de médicaments. L'imagerie par rétrodiffusion révèle un noyau d'oxyde de fer dans des nanocapsules en silice. Sigma 560, HDBSD, 5 kV.

Avec l'aimable autorisation du Dr V. Brune, Institut de chimie inorganique, Université de Cologne (Allemagne).
Capsules de silice mésoporeuse creuse (MSC) pour l'administration de médicaments. L'imagerie par rétrodiffusion révèle un noyau d'oxyde de fer dans des nanocapsules en silice. Sigma 560, HDBSD, 5 kV.
Image de nanotubes en carbone (CNT) capturée à basse tension. Sigma 560, 500 V, détecteur Inlens SE.

Image de nanotubes en carbone (CNT) capturée à basse tension. Sigma 560, 500 V, détecteur Inlens SE.
Sphères Al₂O₃. Des rangées de particules frittées sont visibles en imagerie à sensibilité de surface avec une haute résolution à 500 V. Certaines distances entre les terrasses sont aussi courtes que 3 nm. Sigma 560, 500 V, Inlens SE.

Sphères Al₂O₃. Des rangées de particules frittées sont visibles en imagerie à sensibilité de surface avec une haute résolution à 500 V. Certaines distances entre les terrasses sont aussi courtes que 3 nm. Sigma 560, 500 V, Inlens SE.
Surface d'une particule issue d'une feuille de cathode de batterie. Le contraste des matériaux est utilisé pour identifier le liant (matériau plus sombre) sur la batterie Li-NMC ; image capturée avec le détecteur aBSD.

Surface d'une particule issue d'une feuille de cathode de batterie. Le contraste des matériaux est utilisé pour identifier le liant (matériau plus sombre) sur la batterie Li-NMC ; image capturée avec le détecteur aBSD.
Cristaux 2D de MoS2 obtenus par dépôt en phase vapeur sur un substrat Si/SiO2 : L'image RISE démontre les plis et les parties qui se superposent de cristaux MoS2 (vert), multicouches (bleu) et couches simples (rouge), largeur d'image 32 µm.

Cristaux MoS₂2D obtenus par dépôt en phase vapeur sur un substrat Si/SiO₂ : l'image RISE montre les plis et les parties qui se superposent de cristaux MoS₂ (vert), multicouches (bleu) et couches simples (rouge), largeur de l'image : 32 µm.
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Expérience de chauffage et de traction in situ sur l'acier. Une imagerie MEB et une analyse EBSD ont été réalisées simultanément pour étudier les courbes de contrainte et de déformation.

Sciences des matériaux

Découvrez des images d'échantillons de matériaux tels que les polymères, les fibres, le bisulfure de molybdène, etc.

L'image de la délicate structure ouverte d'un radiolaire est capturée par le détecteur ETSE à 1 kV sous vide poussé, largeur d'image 183 µm.

L'image de la délicate structure ouverte d'un radiolaire est capturée par le détecteur ETSE à 1 kV sous vide poussé, largeur de l'image : 183 µm.
Image de spores de champignon capturée à 1 kV sous vide poussé. Sigma 500 capture aisément les images de ces structures fragiles et délicates à basse tension.

Image de spores de champignon capturée à 1 kV sous vide poussé. Sigma 500 capture aisément les images de ces structures fragiles et délicates à basse tension.
Avec l'aimable autorisation d'Anna Seybold et de Harald Hausen, Centre Sars de biologie moléculaire marine, université de Bergen (Norvège).
Ultrastructure du bryozoaire Tricellaria inopinata, espèce marine sessile ; champ d'observation : 30 µm. Image capturée avec ZEISS Sigma 560, détecteur Sense BSD, 1 kV, 30 pA.

Avec l'aimable autorisation d'Anna Seybold et de Harald Hausen, Centre Sars de biologie moléculaire marine, université de Bergen (Norvège).
Ultrastructure du bryozoaire Tricellaria inopinata, espèce marine sessile ; champ d'observation : 30 µm. Image capturée avec ZEISS Sigma 560, détecteur Sense BSD, 1 kV, 30 pA.
Avec l'aimable autorisation du Dr Peter Munro et de Hannah Armer, UCL – Institut d'ophtalmologie.
Acquisition automatique d'ultrastructure cérébrale en 3D à l'aide de l'imagerie serial block face. L'astrocyte (cyan) a été identifié et segmenté.

Avec l'aimable autorisation du Dr Peter Munro et de Hannah Armer, UCL – Institut d'ophtalmologie.
Acquisition automatique d'ultrastructure cérébrale en 3D à l'aide de l'imagerie serial block face. L'astrocyte (cyan) a été identifié et segmenté.

Sciences de la vie

Apprenez-en plus sur la micro et la nanostructure des protozoaires ou des champignons et révélez l'ultrastructure d'échantillons en block face ou des coupes minces.

Image d'échantillon de roche capturée à 20 kV avec le détecteur YAG-BSD, qui fournit des images à des vitesses élevées en raison de la performance du cristal YAG en matière de conduction de la lumière.

Image d'échantillon de roche capturée à 20 kV avec le détecteur YAG-BSD, qui fournit des images à des vitesses élevées en raison de la performance du cristal YAG en matière de conduction de la lumière.
Minerai de sulfure de nickel. Carte EDS minéralogique, largeur d'image : 3,1 mm. Échantillon : avec l'aimable autorisation de l'Université de Leicester (Royaume-Uni).

Minerai de sulfure de nickel. Carte EDS minéralogique, largeur d'image : 3,1 mm. Échantillon : avec l'aimable autorisation de l'Université de Leicester (Royaume-Uni).
Minéralogie du fer : Identification Raman de minerai de fer, image MEB et cartes Raman superposées. (L'hématite est en rouge, bleu, vert, orange et rose ; la goethite est en bleu clair).

Minéralogie du fer : Identification Raman de minerai de fer, image MEB et cartes Raman superposées. (L'hématite est en rouge, bleu, vert, orange et rose ; la goethite est en bleu clair).
Minéralogie du fer, spectres Raman : les différences dans les spectres d'hématite sont attribuées aux différentes orientations des cristaux. (L'hématite est en rouge, bleu, vert, orange et rose ; la goethite est en bleu clair).

Minéralogie du fer, spectres Raman : les différences dans les spectres d'hématite sont attribuées aux différentes orientations des cristaux. (L'hématite est en rouge, bleu, vert, orange et rose ; la goethite est en bleu clair).
Carte thermique quantitative EDS d'un élément majeur (Ca) ou gneiss à grenat mettant en évidence le zonage géochimique au sein des minéraux essentiels.

Carte thermique quantitative EDS d'un élément majeur (Ca) ou gneiss à grenat mettant en évidence le zonage géochimique au sein des minéraux essentiels.

Sciences de la terre et ressources naturelles

Étudiez les roches, les minerais et les métaux.

Nanoparticules de dioxyde de titane non conductrices utilisées comme pigments et agents opacifiants dont les images peuvent être capturées facilement à 40 Pa en mode VP avec le détecteur C2D, largeur de l'image : 10 µm.

Nanoparticules de dioxyde de titane non conductrices utilisées comme pigments et agents opacifiants dont les images peuvent être capturées facilement à 40 Pa en mode VP avec le détecteur C2D, largeur de l'image : 10 µm.
Particules d'oxyde de fer de 25 – 50 nm, image capturée avec le détecteur aSTEM en mode champ sombre à 20 kV.

Particules d'oxyde de fer de 25 – 50 nm, image capturée avec le détecteur aSTEM en mode champ sombre à 20 kV.
Image d'un échantillon d'alliage supraconducteur capturée à 1 kV avec le détecteur aBSD. (Barre d'échelle 20 µm)

Image d'un alliage supraconducteur capturée à 1 kV avec le détecteur aBSD. (Barre d'échelle : 20µm)
Dendrites d'oxyde de zinc : détectent les changements morphologiques dans les électrodes des systèmes de stockage d'énergie. Sigma, ETSE, 5 kV.

Dendrites d'oxyde de zinc : détectent les changements morphologiques dans les électrodes des systèmes de stockage d'énergie. Sigma, ETSE, 5 kV.

Applications industrielles

Découvrez les techniques d'étude des métaux, alliages et poudres.

Accessoires

Laboratoire In Situ pour ZEISS FE-SEM

Reliez la performance des matériaux à leur microstructure

Complétez votre ZEISS FE-SEM par une solution in situ pour les expériences de chauffage et de traction. Profitez d'une solution intégrée. Étudiez des matériaux tels que les métaux, les alliages, les polymères, les plastiques, les composites et les céramiques. Combinez une platine de traction ou de compression mécanique, une unité de chauffage, et des détecteurs haute température permettant des analyses. Contrôlez tous les composants du système à partir d'un seul PC grâce à un environnement logiciel unifié qui permet de réaliser des tests de matériaux automatisés sans surveillance.

SmartEDX

Découvrez la spectroscopie des rayons X à énergie dispersive embarquée

Si l'imagerie MEB seule ne suffit pas pour acquérir une compréhension complète de vos échantillons, vous pouvez vous tourner vers la spectroscopie à énergie dispersive (EDS) embarquée pour la microanalyse. Cette technologie vous permettra d'obtenir des informations élémentaires à résolution spatiale grâce à une solution optimisée pour les applications à basse tension. Optimisez vos travaux courants de microanalyse et de détection des rayons X à faible puissance provenant d'éléments lumineux grâce à la transmissivité supérieure de la fenêtre en nitrure de silicium. Les équipes évoluant dans un environnement multi-utilisateurs bénéficieront de l'interface graphique guidée en fonction du processus de travail. L'assistance assurée par l'ingénieur ZEISS vous permet de recourir à un interlocuteur unique pour l'installation, la maintenance préventive et la garantie.

RISE entièrement intégré

Découvrez l'imagerie Raman et la microscopie électronique à balayage

Complétez la caractérisation de votre matériau et ajoutez l'imagerie spectroscopique Raman (Raman Spectroscopic Imaging ou RISE). Obtenez l'empreinte chimique de votre échantillon et optimisez votre Sigma 300 avec la capacité d'imagerie confocale Raman. Identifiez les informations moléculaires et cristallographiques. Réalisez une analyse 3D et corrélez l'imagerie MEB avec la cartographie Raman et les données EDS si nécessaire. La microscopie RISE entièrement intégrée vous permet de tirer parti des deux meilleurs systèmes de leur catégorie : MEB et Raman.

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