ナノマテリアル・ナノサイエンスの顕微鏡アプリケーション

マイクロ・ナノ流体力学

将来的なナノ流体デバイスの正確なナノパターニングと非帯電・非破壊イメージング

ナノ流体デバイスは、根本的な科学プロセスの研究や、ナノ毛管現象、閉鎖空間の物質移行、タンパク質-DNAの相互作用などの幅広い機序の探索に役立ちます。

ナノ流体デバイスのメリットとして、大きさと形の柔軟さが挙げられます。これらの特徴は、電子ビームやイオンビームを使って精密に作製できるため、科学者は必要に応じて様々な特性を調整することができます。一方、新たなアプリケーションに必要な正確性を備えたナノ流体デバイスの作製には、標準的なFIB-SEMでは不十分です。

標準的なツールでは不十分

たとえば、SEMで見られる絶縁体試料の帯電は、画像を損なう大きな問題です。解決先として、試料の表面に導電性金属をデポジションする方法がありますが、試料は損傷し、その後使用できなくなります。一方、SEMの帯電中和機能があれば、金属薄膜によるコーティングなしで、ナノ流体試料の非破壊イメージングを実施できます。

従来型のFIB-SEM機器では、今日のナノマテリアル研究に対応することができません。ナノ流体力学の発展には、傑出したSEMイメージングとハイスループットの試料調製が可能なFIBの組み合わせが欠かせません。さらに、研究の必要性に応じてモジュール方式でFIB-SEMをアップグレードできることも重要です。モジュール方式のプラットフォームなら、研究が複雑化しても今の顕微鏡を使い続けることができます。