![マイクロ流体力学の例:幅20 nmのナノチャネル、設定により最大長20 μm。 マイクロ流体力学の例:幅20 nmのナノチャネル、設定により最大長20 μm。]({"xsmall":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/applications/materials/nanomaterials/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.100.100.0,0,1200,1200.file/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg","small":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/applications/materials/nanomaterials/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.360.360.0,0,1200,1200.file/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg","medium":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/applications/materials/nanomaterials/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.768.768.0,0,1200,1200.file/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg","large":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/applications/materials/nanomaterials/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1024.1024.0,0,1200,1200.file/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg","xlarge":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/applications/materials/nanomaterials/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1200.1200.0,0,1200,1200.file/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg","xxlarge":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/applications/materials/nanomaterials/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1200.1200.0,0,1200,1200.file/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg","max":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/applications/materials/nanomaterials/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1200.1200.0,0,1200,1200.file/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg"})
ナノマテリアル・ナノサイエンスの顕微鏡アプリケーション
マイクロ・ナノ流体力学
将来的なナノ流体デバイスの正確なナノパターニングと非帯電・非破壊イメージング
ナノ流体デバイスは、根本的な科学プロセスの研究や、ナノ毛管現象、閉鎖空間の物質移行、タンパク質-DNAの相互作用などの幅広い機序の探索に役立ちます。
ナノ流体デバイスのメリットとして、大きさと形の柔軟さが挙げられます。これらの特徴は、電子ビームやイオンビームを使って精密に作製できるため、科学者は必要に応じて様々な特性を調整することができます。一方、新たなアプリケーションに必要な正確性を備えたナノ流体デバイスの作製には、標準的なFIB-SEMでは不十分です。
標準的なツールでは不十分
たとえば、SEMで見られる絶縁体試料の帯電は、画像を損なう大きな問題です。解決先として、試料の表面に導電性金属をデポジションする方法がありますが、試料は損傷し、その後使用できなくなります。一方、SEMの帯電中和機能があれば、金属薄膜によるコーティングなしで、ナノ流体試料の非破壊イメージングを実施できます。
従来型のFIB-SEM機器では、今日のナノマテリアル研究に対応することができません。ナノ流体力学の発展には、傑出したSEMイメージングとハイスループットの試料調製が可能なFIBの組み合わせが欠かせません。さらに、研究の必要性に応じてモジュール方式でFIB-SEMをアップグレードできることも重要です。モジュール方式のプラットフォームなら、研究が複雑化しても今の顕微鏡を使い続けることができます。
研究に合わせた最適なツール
研究において不可欠なのが、お使いのツールが研究のニーズを満たしているということです。ZEISSは、研究者がナノ流体力学の研究を発展させるのをサポートします。非破壊の低電圧イメージングが可能な高性能SEMと、高度な材料加工に対応できるハイスループットFIBの組み合わせをご活用ください。
アプリケーション例
詳細:蛇行形状のチャネル。試料ご提供:I. Fernández-Cuesta, INF Hamburg, Germany.実視野100 µm
![FIBによってシリコン基板上に作製されたナノチャネル FIBによってシリコン基板上に作製されたナノチャネル]({"xsmall":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/applications/materials/nanomaterials/se_meander-channels-crossbeam-550.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.100.75.0,0,1025,769.file/se_meander-channels-crossbeam-550.jpg","small":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/applications/materials/nanomaterials/se_meander-channels-crossbeam-550.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.360.270.0,0,1025,769.file/se_meander-channels-crossbeam-550.jpg","medium":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/applications/materials/nanomaterials/se_meander-channels-crossbeam-550.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.768.576.0,0,1025,769.file/se_meander-channels-crossbeam-550.jpg","large":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/applications/materials/nanomaterials/se_meander-channels-crossbeam-550.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1024.768.0,0,1025,769.file/se_meander-channels-crossbeam-550.jpg","xlarge":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/applications/materials/nanomaterials/se_meander-channels-crossbeam-550.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1025.769.0,0,1025,769.file/se_meander-channels-crossbeam-550.jpg","xxlarge":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/applications/materials/nanomaterials/se_meander-channels-crossbeam-550.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1025.769.0,0,1025,769.file/se_meander-channels-crossbeam-550.jpg","max":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/applications/materials/nanomaterials/se_meander-channels-crossbeam-550.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1025.769.0,0,1025,769.file/se_meander-channels-crossbeam-550.jpg"})
ZEISS Atlas 5のNPVEモジュールでパターニング、実視野59 μm。
![幅20 nm、最大長20 μmのナノチャネル、ZEISS Atlas 5のNPVEモジュールでパターニング、実視野59 μm。 幅20 nm、最大長20 μmのナノチャネル、ZEISS Atlas 5のNPVEモジュールでパターニング、実視野59 μm。]({"xsmall":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/applications/materials/nanomaterials/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.100.75.0,150,1200,1050.file/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg","small":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/applications/materials/nanomaterials/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.360.270.0,150,1200,1050.file/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg","medium":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/applications/materials/nanomaterials/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.768.576.0,150,1200,1050.file/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg","large":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/applications/materials/nanomaterials/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1024.768.0,150,1200,1050.file/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg","xlarge":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/applications/materials/nanomaterials/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1200.900.0,150,1200,1050.file/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg","xxlarge":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/applications/materials/nanomaterials/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1200.900.0,150,1200,1050.file/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg","max":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/applications/materials/nanomaterials/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.1200.900.0,150,1200,1050.file/nvpe_micro-fluidics-channels_atlas-5.jpg"})