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ZEISS Axio Imager Vario
製品

ZEISS Axio Imager Vario

大型試料に対応した正立顕微鏡

ZEISS Axio Imager Varioなら、極小のMEMSセンサからフラットパネルディスプレイ全体まで、多岐にわたる試料を解析できます。カラムの設計は超大型試料の検査に対応し、高い安定性を備えています。さらに、クリーンルームでの使用も可能です。

  • 大型試料の検査
  • クリーンルーム対応
  • 常に確実にフォーカス
大型試料の検査

大型試料の検査

マニュアルカラムか電動カラムのいずれかを選択し、作業空間が最大300 mm x 300 mm、高さが最大254 mmの試料を検査できます。頑丈なカラムは、重量がある試料の取り扱い時や共焦点レーザースキャン顕微鏡ZEISS LSMと組み合わせた際も高い安定性を提供し、振動を抑えます。

クリーンルームでの作業に対応

クリーンルームでの作業に対応

ウェハ検査とフォトマスク検査には極めて高いレベルの空気清浄度が求められます。そのため、それらの検査はクリーンルーム内で行われます。クリーンルームはDIN EN ISO 14644-1規格により分類され、1 m3 あたりの粒子の数で区別されます。ZEISS Axio Imager Varioはこの基準に準拠しクラス5のクリーンルーム要件を満たします。クリーンルームクラスISO 5は以前の基準であるFED STD 209E (1992) のクラス100と同等です。

オートフォーカス - 常に確実にフォーカス

常に確実にフォーカス

Axio Imager Varioでコントラストの弱い反射試料を観察する際には、ハードウェアオートフォーカスをご使用ください。反射光と透過光のいずれの場合でも、精密な観察が可能です。センサーはフォーカス位置の変化を検知し、ずれがあった場合は自動的に補正します。大型試料を動かしながらフォーカスを確実に保つことも可能です。

TFTディスプレイ、明視野、透過光、RGBサブピクセル
TFTディスプレイ、明視野、透過光、RGBサブピクセル

TFTディスプレイ、明視野、透過光、RGBサブピクセル
TFTディスプレイ、明視野、透過光、RGBサブピクセル
TFTディスプレイ、明視野、透過光、RGBサブピクセル

TFTディスプレイ、明視野、透過光、RGBサブピクセル

ハードウェアオートフォーカス

材料研究や生産ラインでは、対物レンズにおける被写界深度の最大0.3倍の高精度なフォーカスが必要です。これには、12000 µmの範囲で焦点を固定できるフォーカシング機能が役に立ちます。反射光、透過光、明視野、暗視野、偏光コントラスト、微分干渉コントラスト、偏斜照明などを用いた様々なアプリケーションにオートフォーカスをご活用ください。

アプリケーション

材料研究向けAxio Imager Varioを使用した金属組織検査のアプリケーションをご紹介します。
  • 木材。反射光、暗視野、EC Epiplan-APOCHROMAT10x/0.30
  • 基板。反射光、明視野、EC Epiplan-NEOFLUAR 5x/0.13
  • ウェハ。反射光、暗視野、EC Epiplan-APOCHROMAT 50x/0.95
  • 単結晶シリコン太陽電池。反射光、C-DIC、EC Epiplan-APOCHROMAT 50x/0.95
  • 木材。反射光、暗視野、EC Epiplan-APOCHROMAT10x/0.30

    木材

    反射光、暗視野、EC Epiplan-APOCHROMAT10x/0.30

    反射光、暗視野、EC Epiplan-APOCHROMAT10x/0.30

    木材。反射光、暗視野、EC Epiplan-APOCHROMAT10x/0.30
  • 基板。反射光、明視野、EC Epiplan-NEOFLUAR 5x/0.13

    基板

    反射光、明視野、EC Epiplan-NEOFLUAR 5x/0.13

    反射光、明視野、EC Epiplan-NEOFLUAR 5x/0.13

    基板。反射光、明視野、EC Epiplan-NEOFLUAR 5x/0.13
  • ウェハ。反射光、暗視野、EC Epiplan-APOCHROMAT 50x/0.95

    ウェハ

    ウェハ。反射光、暗視野、EC Epiplan-APOCHROMAT 50x/0.95

    反射光、暗視野、EC Epiplan-APOCHROMAT 50x/0.95

    ウェハ。反射光、暗視野、EC Epiplan-APOCHROMAT 50x/0.95
  • 単結晶シリコン太陽電池。反射光、C-DIC、EC Epiplan-APOCHROMAT 50x/0.95

    単結晶シリコン太陽電池

    単結晶シリコン太陽電池

    反射光、C-DIC、EC Epiplan-APOCHROMAT 50x/0.95

    単結晶シリコン太陽電池。反射光、C-DIC、EC Epiplan-APOCHROMAT 50x/0.95

関連アプリケーション

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    • ZEISS Axio Imager Varioのプレビュー画像

      ZEISS Axio Imager Vario

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