走査型電子顕微鏡(SEM)は、焦点電子ビームで試料を走査し、試料のトポグラフィーや組成に関する情報を伴う画像を取得します。
ZEISSのCSEM (conventional SEMs with a thermic electron source) およびFE‐SEM (field emission SEMs with a field emission electron source) は、高分解能画像および優れたコントラストをもたらします。
● 高解像度の表面感度情報とコントラスト
● ナノテクノロジー、材料研究、ライフサイエンス、半導体、原材料、産業などに幅広く利用されています