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ZEISS Sigma 高画質イメージングと高度な解析を実現する電界放出型SEM
ZEISS Sigmaファミリーは、電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)のテクノロジーと優れたユーザーエクスペリエンスを兼ね備えています。イメージングと解析ルーチンを構造化することで生産性が向上し、新しい材料、品質検査用の粒子試料、生物・地質試料などの観察に活用できます。妥協のない高分解能イメージングにより、1 kV以下の低加速電圧でも高い解像度とコントラストを達成します。さらに、クラス最高のEDSジオメトリを使用して高度な顕微鏡解析を実行し、より正確な解析データを2倍の速さで取得することができます。
Sigmaファミリーは、ユーザーを高度なナノ解析の世界へと導きます。

Sigma 360
コア施設から選ばれる直感的なイメージング
- セットアップからAIによる結果取得まで、専用のガイドに従って操作するだけの直感的なイメージングワークフローをご体験ください。
- 1 kV以下でも優れた解像度と最適なコントラストを実現
- VPイメージングにより、非導電体の非常に困難な条件でも優れた結果を取得可能
キャプション:NanoVP liteモードでイメージングしたポリスチレン。

Sigma 560
ハイスループット解析とin situ実験の自動化
- リアルワールドの試料を効率的に解析。スピードと汎用性を兼ね備えたSEMベースの解析が可能です。
- In situ実験の自動化:無人検査のための完全統合型ラボを実現します。
- 1 kV以下のイメージングが困難な試料にも対応。包括的な試料情報を収集できます。
テクノロジー

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ビームブースター、Inlens検出器、Gemini対物レンズを搭載したGemini光学カラムの断面図。
Gemini 1光学系
Gemini 1の光学系は、対物レンズ、ビームブースター、Inlens検出コンセプトの3つの要素で構成されています。対物レンズの設計には静電場と磁場が組み合わせられており、磁場が試料に与える影響を最小限に抑えながら、光学性能を最大限に高めます。これにより、磁性材料のように困難な試料であっても優れたイメージングが可能となります。Inlensは、二次電子(SE)や後方散乱電子(BSE)を検出することにより、イメージング時間を最大限短縮しつつ、効率的なシグナル検出を実現することをコンセプトにしています。ビームブースターテクノロジーが小さなプローブサイズと高いSN比を保証します。

Gemini 1の光学カラムと検出器の断面図。

検出器搭載SigmaのGemini 1のカラム。1 Inlens検出器(SEまたはDuo)。2 ETSE検出器、3 VPSE、4 C2D、5 aSTEM、6/7 EDS検出力が高く、様々な後方散乱を感知する検出器(aBSD1など)。
柔軟な検出機能
様々な検出器を搭載したSigmaでは、最新の検出テクノロジーにより、あらゆる試料の特性評価が可能です。ETSEと高真空モード用のInlens検出器が、高分解能のトポグラフィー取得をサポートします。低真空モードでVPSEやC2D検出器を使用することで、鮮明な画像を取得できます。aSTEM検出器では高分解能の透過画像を生成できます。様々なオプションが揃ったBSE検出器(aBSD検出器など)で組成やトポグラフィーを観察できます。
NanoVP liteモード
- NanoVP liteモードでは、スカート効果が低減され、ビームガスの光路長(BGPL)が短くなります。スカートを抑えることで、SEおよびBSEイメージングにおけるSN比が向上します。
- 5つの環状セグメントを持つ格納式のaBSDは、優れた材料コントラストを実現します。ビームスリーブを搭載しており、NanoVP liteモードでの操作時はポールピースの下に設置されます。ハイスループットと低加速電圧での組成・トポグラフィーコントラストイメージングを実現し、VPやHV(高真空)に適しています。
アクセサリ
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ZEISS FE-SEM用In Situラボ
材料性能を微細構造に関連付ける
ZEISS FE-SEMに、加熱・引張実験用のin situソリューションを追加できます。統合ソリューションのメリットをご活用ください。金属、合金、ポリマー、プラスチック、複合材料、セラミックスなどの材料を観察可能です。さらに、機械的引張または圧縮ステージ、加熱ユニット、専用高温検出器を解析と組み合わせることができます。統一されたソフトウェア環境が無人自動材料試験を可能にし、1台のパソコンからすべてのシステムを制御できます。

SmartEDX
組み込み式エネルギー分散型X線分光法
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完全統合型RISE
ラマンイメージングと査型電子顕微鏡のメリットを活用
ラマン分光イメージング(RISE)を追加すれば、材料の特性評価を補完できます。Sigma 360を共焦点ラマンイメージング機能で拡張することで、試料の化学的フィンガープリントの取得が可能になります。分子・結晶の情報を認識することができます。また、ラマンマッピングとEDSデータを使用して、3D解析およびSEMイメージングとの相関が可能です。完全統合型RISEにより、クラス最高のSEMおよびラマンシステムの両方を活用できます。