ソフトウェア

ZEISS Atlas 5

マルチスケールにおける課題を克服

Atlas 5の試料を中心に置いた相関ワークスペースで、包括的なマルチスケール、マルチモーダル画像を構築できます。このAtlas 5の強力かつ直感的なソリューションによって、ZEISSの走査型電子顕微鏡（SEM）および集束イオンビームSEM（FIB-SEM）の機能を拡張できます。光学顕微鏡やX線顕微鏡など、あらゆるソースの画像を効率的にナビゲートし、相関させることができます。モジュール構造により、ナノパターニングやアレイトモグラフィーなど、材料科学やライフサイエンスにおける日常のニーズに合わせてAtlas 5を調整することが可能です。

ZEISS SEM、FE-SEMおよびFIB-SEMによる広域イメージング
これまで以上に簡単かつ迅速に、ナノスケールのEM画像を取得
複数のソースで取得した多次元画像の相関付け
Thin & Fast TomographyとTrue-Zを用いた3Dトモグラフィーによって、高精度のZを達成
ワークフローの中心に試料が配置されたGUIの相関ワークスペースで作業

電子顕微鏡画像を

これまでよりも簡単、迅速に取得

2Dまたは3Dのナノスケール電子顕微鏡（EM）画像の大容量データセットを、数時間または数日にわたってオペレータの監視なしに自動的に取得
数千もの試料のシングル画像を取得することもできれば、数千もの隣り合う画像からなる広範囲のモザイク画像を取得することも可能
Atlas 5を使って自動イメージングを最適化。カスタマイズ可能な高度な設定済みプロトコルを用いて、一貫して再現性のある結果を作成

_{自動イメージングのワークフローに沿った使いやすいGUI}

Atlas 5の相関ワークスペースで、集積回路の光学顕微鏡画像とSEM画像を合成。

複数のソースの

画像を相関

Atlas 5の相関ワークスペースで、複数のソースの画像を簡単に統合。試料全体をカバーするマクロビューから、ナノスケールの微細構造までズーム可能。
複数のシステムの画像を効率的に解析・相関。SEM、FIB-SEM、X線、光学顕微鏡、およびあらゆる光学画像（お手持ちのデジタルカメラ画像など）のデジタルハブ化
試料を中心に置いたワークスペースによって、マルチモーダルでマルチスケールのシームレス画像を構築

_{Atlas 5の相関ワークスペースで、集積回路の光学顕微鏡画像とSEM画像を合成。}

固体酸化物電解セル、放充電サイクル後の変化、3Dトモグラフィー、3Dの画像およびEDSデータ、ZEISS FIB-SEM、Atlas Analytics。試料ご提供：M. Cantoni, EPFL, CH

独自のワークフローで

より多くの情報を取得

Atlas 5のグラフィカルユーザーインターフェースにより、2Dおよび3Dで試料を完全に理解
シンプルなワンステップ作業から複合的な実験に至るまで、実験の複雑さに合わせたワークフローを設計可能
自動取得の設定から、後処理、カスタマイズされたエクスポート、そして解析まで、洗練されたワークフロー環境でサポート

_{固体酸化物電解セル、放充電サイクル後の変化、3Dトモグラフィー、3Dの画像およびEDSデータ、ZEISS FIB-SEM、Atlas Analytics。試料ご提供：M. Cantoni, EPFL, CH}

テクノロジー

画像取得効率の最大化

16ビットスキャンジェネレーター、デュアルスーパーサンプリング信号収集ハードウェアと、画像処理・制御ソフトウェアを併用
最大32,000 x 32,000ピクセルのSEM画像と最大40,000 x 50,000ピクセルのFIB-SEM画像を取得
画像取得では、100ナノ秒刻み100ナノ秒以上100秒未満の以上のDwell Timeを使用可能
取得した画像は、8または16ビットのビット深さで保存可能

大判モザイク画像の作成

実形状に適したROI（関心領域）を定義することで大判モザイク画像のタイル数を削減し、画像取得の所要時間と演算処理量を効率化
ステージの動作遅延および各タイル画像のオーバーラップによる「損失」面積比を削減
オーバーラップする「継ぎ目」の数を最適化することで、試料のビームダメージや劣化を最小限に抑制

画像取得がより容易に

事前設定されたイメージングプロトコルに従って正確な関心領域を定義し、指定した領域のみをスキャン
理想的なイメージング条件でプロトコルを開発することで、再現性のある結果を実現
高度な自動焦点調整機能および自動収差調整機能により、長時間の取得でもシャープな画像を維持
いつでもどこでも、必要なときに試料をイメージング可能：Atlas 5が複数の機器での様々なセッションをサポート
Atlas 5の試料中心の相関ワークスペースでは、複数の機器で取得した2D画像と3Dボリュームデータを統合して画像を相関可能
光学顕微鏡、X線顕微鏡、電子顕微鏡、FIB-SEM顕微鏡からデータをインポートして配置し、試料の一貫したシングル画像を作成

FIB-SEM顕微鏡のターゲット位置を決めるために、X線顕微鏡データと相関

ZEISS X線顕微鏡のボリュームスキャンと、FIB-SEMで観察できる表面形状を相関付け
X線データを使用して、FIBで正確にターゲットを定めた部位の表面下のin situでは目視できない特徴を3Dで仮想的に特定
ZEISS FIB-SEMを使用して、それらの領域へと確実にナビゲート

モジュール

Atlas 5が提供する

様々な機能

Atlas 5とそのモジュール、機能、設定可能性をご確認ください。Atlas 5をオプションで追加することで、ZEISS SEMおよびFIB-SEMの機能を拡張できます。この追加モジュールの高度な機能を組み合わせる方法をご紹介します。Atlas 5モジュールには、Atlas 5が必要です。オプションの解析モジュールには、ZEISSのOxford Instruments社製ハードウェア・ソフトウェアパッケージが必要です。FIB-SEMの解析モジュールには、Atlas 5 3D Tomographyが必要となります。

Array Tomography

アレイトモグラフィー設定のための各種ツール

Clone ツールで、あらゆる切片のイメージング部位を簡単に定義
Snap Sectionツールで、切片の形状を自動的に検出
イメージング部位を効率的に管理し、切片全体でサブの部位を設定することも可能
Image Stack Exportツールを使用して、すべての画像から3Dボリュームを構築、Image Stack Viewerを使ってそれらを表示
3Dスタックアライメントおよび画像補正機能

強化されたブラウザベースのViewer Export モジュール

解析、発表および結果の共有、さらには同僚や学生のトレーニングに使用可能です。

単一または複数のデータセットを、通常のウェブブラウザで閲覧できるフォーマットにエクスポート
測定や注釈付けが可能
プレゼンテーション用に、データからスライドショーを作成。PDFファイル、画像、スペクトル、動画、あるいは音声データなどの追加情報を添付
同僚や学生、同分野の研究者が最高の解像度で自由にデータセットを探索でき、データをフラッシュドライブで交換、またはサーバーにアップロードするなどして、簡単に共有可能
スライドショーを閲覧し、好きなタイミングで停止して自分でデータを探索することが可能

FIB-SEMによる自動ナノトモグラフィー：xROIとキーフレームを使って、複数の分解能のデータセットを同時に取得ご提供：K. Narayan and S. Subramaniam, National Cancer Institute, National Institutes of Health, Bethesda, MD, USA

FIB-SEMによる自動ナノトモグラフィー：xROIとキーフレームを使って、複数の分解能のデータセットを同時に取得ご提供：K. Narayan and S. Subramaniam, National Cancer Institute, National Institutes of Health, Bethesda, MD, USA

3Dトモグラフィー

"Thin & Fast Tomography"と"True-Z"

3Dでトモグラフィーを実行：

自動試料調製と3D FIB-SEM画像取得エンジンを使って、正確な3Dビジュアリゼーションを実現
トモグラフィー実行中にスライス厚を測定および正確にコントロール。「True-Z」情報を取得することによって、データを正確に処理
「Thin & Fast トモグラフィー」を使って、帯電、収縮、あるいはビームのダメージを受けやすい試料に対し、正確で持続性のある均質なトモグラフィーを保証
xROIs（Exact regions of interest）、Advanced Sample Tracking、Predictive Drift Correction、Auto-tuning機能を使って、高品質なデータを迅速に取得
3D FIB-SEM Stack Alignment、Image Stack Export機能付きのImage Stack Viewer

多層金属の3Dトモグラフィー、カナダコイン。ボリューム40 x 40 x 30 μm³およびボクセルサイズ（20 nm）³、EBSD解析。

分析

統合モジュールを使って3Dで分析を実行:

高分解能FIB-SEMトモグラフィーに、3D EDS/3D EBSD分析機能を追加
加速電圧、デュエルタイム、3D空間分解能など、イメージングとマッピング条件を個別に設定
高度な取得エンジンを使って、画像取得中に分析条件とイメージング条件を自動的に切り替え
より安定した3D EBSD分析のために、ステージを動かさずに、3Dトモグラフィーデータセットを取得
フレキシブルなビジュアリゼーションにより、同時にSEM画像の表示と元素マッピングの処理が可能
2D EDSマッピングデータをFE-SEMのワークフローに組み込み、複数の関心領域を自動的に取得

リンカーン像のFIBグレースケールレンダリング、FIBビームでシリコンにパターン化。データソースとして未加工の写真を使用。パターン化時間：10分

NPVE Advanced

高度なナノパターン形成/ビジュアライゼーションエンジン

NPVEを使って、パターニング形状とパラメータを高度にコントロール：

パターニングおよびイメージングの完全サポート。イオンビームと電子ビームの同時ビームコントロール
ビームとGISパラメータのスマートコントロールのための操作レシピを設定。一貫したミリングとデポジションを保証
3DプロファイルおよびArray Builderツールを使って、実験デザインを最適化
FIB断面をより迅速かつより効率的に調製するための特別なスキャニングストラテジー、iIncluding Fastmillを用いることで、最大40%ミリング時間を節約

アプリケーション

ZEISS Crossbeamを用いて取得した無鉛はんだの3D EDS断層像。
EDSおよびEBSDによる多層金属系の調査。
ウマゴヤシの根粒。Atlas 5 Array TomographyでイメージングしたSEM画像。試料ご提供：J. Sherrier, J. Caplan and S. Modla, University of Delaware, US
研磨された岩石切片、北ケベックのペラルカリ花崗岩。試料ご提供：A. Gyis, Colorado School of Mines, US
ラット脳血管、厚切片、SEM画像、モザイク。Atlas 5 Array Tomography

Atlas Image Viewer

材料科学および生命科学の研究、半導体、あるいは考古学関連のデータセットをZEISS Atlas 5のブラウザベースのビューワーでご覧いただけます。

Atlas Image Viewerについては以下をクリックしてください。

Atlas Image Viewer

ダウンロード

ZEISS Atlas 5

Your Solution for Automated Image Acquisition, Data Correlation and Multi-modal 2D & 3D Workflows

8 MB

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Visualization of gold and uranium ore-formation in the Witwatersrand ore deposit from the micro- to nanoscale

ZEISS Atlas 5

3 MB

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ZEISS Atlas 5

Characterization of Solid Oxide Electrolysis Cells by Advanced FIB-SEM Tomography

1 MB

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ZEISS Atlas 5

Large Area Imaging with High Throughput

3 MB

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Cathodoluminescence of Geological Samples: Fluorite Veins

ZEISS Scanning Electron Microscopes with Atlas

5 MB

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Correlative XRM-FIB/SEM

Study of Thermoelectric Materials

1 MB

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Multi-scale Characterization of Lithium Ion Battery Cathode Material by Correlative X-ray and FIB-SEM Microscopy

1 MB

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Multi-scale Correlative Study of Corrosion Evolution in a Magnesium Alloy

1 MB

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