ZEISS SmartPI - Smart Particle Investigator
ソフトウェア

ZEISS SmartPI

Smart Particle Investigator

エネルギー分散型X線分光法(EDS)による粒子分類
エネルギー分散型X線分光法(EDS)による粒子分類

エネルギー分散型X線分光法(EDS)による粒子分類

自動SEM粒子分析・分類ソリューション

粒子の検出、分析および分類

Smart Particle Investigator(SmartPI)は、高度な粒子分析および分類ソリューションであり、走査型電子顕微鏡を工業用清浄度検査や鉄鋼業界向けのターンキーソリューションにします。SmartPIは、SEM制御、イメージプロセッシング、および元素解析(EDS)のすべてを、単一のアプリケーション内に組み込んでいます。

  • 単一のソフトウェアでSEM画像およびEDS分析の両方をコントロール
  • 自動化された、無人の粒子分析を実行
  • 再現性のあるデータと業界標準に準拠した報告書を作成
  • SmartPIをZEISSの光学顕微鏡粒子分析ソリューションと組み合わせて、相関ワークフローを構成
  • グローバルなZEISSサービスとシステム全体のサポートを活用可能
  • ISO 16232 / VDA 19に準拠

業界のニーズに的確に対応

SmartPIは、強力かつ使いやすい粒子識別および分類システムを特に必要としていた自動車部品のグローバルサプライヤーと密接に協力して開発されました。これは、現行の工業用洗浄度解析の要件をみたすというだけでなく、オペレータが顕微鏡のエキスパートではない環境や、世界中の多数のサイトにソリューションが展開されている場合の、ユーザビリティの懸念についても柔軟に対応できることを意味します。

  • シンプルさが持つ力

    SmartPIの自動化により顕微鏡操作が簡素化されます。正確で優れた情報を得るために、オペレータが顕微鏡のエキスパートである必要はありません。同時に、経験豊富なオペレーターは、レシピを簡単に作成または修正し、特定の要件に合わせて分析ルーチンをカスタマイズ可能です。レシピ、システム設定、粒子データはすべて監査可能なデータベースに保存され、データの確認やエクスポートが簡単にできます。

  • インテリジェントな粒子検出機能

    SmartPIは洗練された境界粒子ステッチングアルゴリズムを使用して、粒子データセット内の切断された粒子を含む複数の視野にわたって整列された粒子を検出し、特性評価し、分類します。これは、より大きな粒子が統計から排除されないために特に重要であり、洗浄度や品質分析の結果に影響します。

  • 完全統合型ソリューション

    SEM画像とEDS分析の両方をパソコン上の単一のソフトウェアで制御します。ZEISS SmartPIはすべてのデータを一緒に保有し、SEMとEDSの両方のデータの整合性と効率的なデータの呼び出しを保証します。EDSシステムがEDSサプライヤから供給される場合であっても、SmartPIシステム全体は、グローバルなZEISSサービスチームおよびアプリケーションチームによってサポートされ、すべてのカスタマーケアを1つのルーフのもとに保ちます。

SmartPIのアプリケーション例

  • Auto-calibration Procedures
  • Morphological and Chemical Classification
  • Exclusion of fibers, for example, via limitation of the parameter elongation
  • Stop criteria setup page
  • Use the review mode to re-examine single particles and see all of their properties including EDS composition and material classification.
  • SmartPI Explorer navigation window with multi-particle view
  • VDA 19 cleanliness report generated in SmartPI Reporter
  • 自動キャリブレーション手順
    自動キャリブレーション手順

    自動キャリブレーション手順

    自動キャリブレーション手順

    SmartPIは各自動実行の前に、自己診断およびオートキャリブレーションを定期的に実施します。これにより、システムの安定性が確保され、正確で再現可能な結果が得られます。自動運転中に中断が発生した場合、例えばフィラメント交換が必要な場合、自動回復プロセスが開始されます。

  • 形態学的・化学的分類
    形態学的・化学的分類

    形態学的・化学的分類

    形態学的・化学的分類

    SmartPIは、高度なイメージプロセッシングおよび解析技術を用いて、検出された各粒子について様々な形態学的特性を測定します。続いて、EDS分析を用いて各粒子の化学組成を決定します。Spotモードまたは高度なZEISS Feature Scan Modeを用いてより速く詳細に分析します。これにより、完全な粒子形状がスキャンされ、より正確な分類結果が提供されます。

  • 例えば、パラメータの伸長を制限することで繊維を除外できます
    例えば、パラメータの伸長を制限することで繊維を除外できます。

    例えば、パラメータの伸長を制限することで繊維を除外できます。

    例えば、パラメータの伸長を制限することで繊維を除外できます。

    測定値の除外

    粒子データセットの一貫性を保ち、スキャンの実行時間を最小限に抑えるために、SmartPIでは解析対象とみなされない粒子を、以降のイメージと元素解析から除外できます。これは例えば、環境中のほこりに由来する可能性があり、製造プロセスに由来する粒子とは無関係なフィルター上の細長い繊維などが想定されます。

  • 停止基準設定ページ
    停止基準設定ページ

    停止基準設定ページ

    停止基準設定ページ

    高度な停止基準

    アドバンスドストップの基準は、自動実行があらかじめ定義された閾値に到達した際、分析の終了が可能になります。停止基準には、分析時間、カウントされた粒子またはフィールドの数、粒子サイズ、特定の分類、他の基準を指定できます。この機能は単一または複数サンプルに適用することができるため、全体の実行時間を大幅に短縮します。またlive results windowは、オペレータが進行状況を監視し、介入が必要かどうかを判断することができます。

  • レビューモードを使用すると、単一の粒子を再検査し、EDS組成や材料分類を含むすべての特性を確認することができます。
    レビューモードを使用すると、単一の粒子を再検査し、EDS組成や材料分類を含むすべての特性を確認することができます。

    レビューモードを使用すると、単一の粒子を再検査し、EDS組成や材料分類を含むすべての特性を確認することができます。

    レビューモードを使用すると、単一の粒子を再検査し、EDS組成や材料分類を含むすべての特性を確認することができます。

    インタラクティブかつ遡及的な粒子分類

    Review Outputモードを使用して結果を詳細に調べて分類方法を改善します。ステージを適切な粒子の座標に戻すことによって、任意の粒子を再検査することもできます。Retrospective Analysisモードを使用すると、サンプルを再分析する必要なく、新しい分類基準を使用して現在の結果を再評価できます。

  • SmartPI Explorerのナビゲーションウィンドウに表示されたマルチパーティクルビュー

    SmartPI Explorerのナビゲーションウィンドウに表示されたマルチパーティクルビュー

    SmartPI Explorerのナビゲーションウィンドウに表示されたマルチパーティクルビュー

    SmartPI Explorer

    この独立したソフトウェアを使用すると、選択した個々のスペクトル、粒子画像、フィールド画像、境界粒子、または他のフィルタの結果を参照、検索できます。さらにSmartPI Explorer は、アーカイブのためのオプション、ならびに解析されたフィールドからステッチされた画像を作成するための画像モンタージュ機能が含まれています。また、SmartPI Explorerはシステムの占有時間を減らすために、オフラインで使用することもできます。

  • SmartPI Reporterで作成したVDA 19清浄度レポート
    SmartPI Reporterで作成したVDA 19清浄度レポート

    SmartPI Reporterで作成したVDA 19清浄度レポート

    SmartPI Reporterで作成したVDA 19清浄度レポート

    SmartPI Reporter

    この独立したソフトウェアには、専用のレポートを作成できる多数のツールが組み込まれています。ドラッグアンドドロップコントロールを使用したり、既存のレポートテンプレートを変更して、ISOまたはVDA標準レポートを選択できます。レポートを定義したら、今後のレポート用のテンプレートとして保存が可能です。さらに、SmartPI Reporterは解析直後にレポートを作成したい場合はオンラインで、結果を後で分析する場合はオフラインで使用することができます。

推奨されるSEMプラットフォーム

EVO走査型電子顕微鏡

EVO走査型電子顕微鏡

EVOは、日常的な材料分析、産業品質保証および故障解析に最適な従来型SEMです。大型電動5軸ステージと使いやすいSmartSEMソフトウェアにより、EVOは粒子解析アプリケーションのための高度に設定可能なイメージングプラットフォームを提供します。EVOには可変圧力(VP)機能があり、導電性コーティングを施すことなく、フィルターなどの非導電性試料のイメージングと分析を可能にします。また、ラマンやFTIRなどを使用したその後の分析用に、フィルターをインタクトな状態で残すことができます。

Sigma電界放出型走査電子顕微鏡

Sigma電界放出型走査電子顕微鏡

Sigmaは、ナノメートルスケールの粒子分析に高い分解能を必要とするユーザーに最適なSEMです。Geminiカラムテクノロジーを採用したSigmaは、電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)による優れたイメージングと分析結果を提供します。Gemini光学系により、元素分析、特に磁性試料の分析に非常に適したプラットフォームで最高レベルの分解能のイメージングが実現します。

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