ソフトウェア
ZEISS SmartSEM
SEM、FE-SEM、FIB-SEM用ソフトウェアソリューション
ZEISS SmartSEMは、ZEISS電子顕微鏡用の操作システムです。顕微鏡の高度な設定を可能にするとともに、困難な課題も解決します。あらゆる操作パラメータを完全に制御するためにご使用ください。GUIの操作モードは、ユーザーのレベルに応じて、フルコントロール、または時々使うユーザーのために開発された簡潔なGUIの2種類から選べます。追加のモジュールにより、いつでも簡単に機能を拡張できます。
モジュール
![SmartPI Explorerのナビゲーションウィンドウに表示されたマルチパーティクルビュー SmartPI Explorerのナビゲーションウィンドウに表示されたマルチパーティクルビュー]({"xsmall":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/software/zeiss-smartsem/smartpi_explorer.png/_jcr_content/renditions/original.image_file.100.63.32,0,1888,1160.file/smartpi_explorer.png","small":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/software/zeiss-smartsem/smartpi_explorer.png/_jcr_content/renditions/original.image_file.360.225.32,0,1888,1160.file/smartpi_explorer.png","medium":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/software/zeiss-smartsem/smartpi_explorer.png/_jcr_content/renditions/original.image_file.768.480.32,0,1888,1160.file/smartpi_explorer.png","large":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/software/zeiss-smartsem/smartpi_explorer.png/_jcr_content/renditions/original.image_file.1024.640.32,0,1888,1160.file/smartpi_explorer.png","xlarge":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/software/zeiss-smartsem/smartpi_explorer.png/_jcr_content/renditions/original.image_file.1280.800.32,0,1888,1160.file/smartpi_explorer.png","xxlarge":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/software/zeiss-smartsem/smartpi_explorer.png/_jcr_content/renditions/original.image_file.1440.900.32,0,1888,1160.file/smartpi_explorer.png","max":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/software/zeiss-smartsem/smartpi_explorer.png/_jcr_content/renditions/original.image_file.1856.1160.32,0,1888,1160.file/smartpi_explorer.png"})
![SmartPI Explorerのナビゲーションウィンドウに表示されたマルチパーティクルビュー SmartPI Explorerのナビゲーションウィンドウに表示されたマルチパーティクルビュー]({"xsmall":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/software/zeiss-smartsem/smartpi_explorer.png/_jcr_content/renditions/original.image_file.100.60.file/smartpi_explorer.png","small":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/software/zeiss-smartsem/smartpi_explorer.png/_jcr_content/renditions/original.image_file.360.218.file/smartpi_explorer.png","medium":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/software/zeiss-smartsem/smartpi_explorer.png/_jcr_content/renditions/original.image_file.768.464.file/smartpi_explorer.png","large":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/software/zeiss-smartsem/smartpi_explorer.png/_jcr_content/renditions/original.image_file.1024.619.file/smartpi_explorer.png","xlarge":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/software/zeiss-smartsem/smartpi_explorer.png/_jcr_content/renditions/original.image_file.1280.773.file/smartpi_explorer.png","xxlarge":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/software/zeiss-smartsem/smartpi_explorer.png/_jcr_content/renditions/original.image_file.1440.870.file/smartpi_explorer.png","max":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/software/zeiss-smartsem/smartpi_explorer.png/_jcr_content/renditions/original./smartpi_explorer.png"})
SmartPI Explorerのナビゲーションウィンドウに表示されたマルチパーティクルビュー。
SmartPI
- SmartPI モジュールの使用で、粒度、形状、形態、元素組成を半自動的に定量化、分類、測定
- 製造、コンフィギュレーション、レポートの用途に合わせて、異なるモード間の切り替えが容易
- 製造モード:SmartPIが自動で操作条件を設定し、選択した分析ルーチンに従って測定を開始
- コンフィギュレーションモード:SEM設定から粒子の分類、レポートまで、関連する項目を簡単に設定
- レポートモード:シングルフレームで異常調査も有する対話式解析をレポートやプロセスデータを作成、実行
![SmartBrowse SmartBrowse]({"xsmall":"/adobe/dynamicmedia/deliver/dm-aid--895f3b03-1a54-4072-a7ad-9e822ca6d42a/sem-smart-browse-evo.jpg?preferwebp=true&width=100&quality=85&crop=0,120,908,568","small":"/adobe/dynamicmedia/deliver/dm-aid--895f3b03-1a54-4072-a7ad-9e822ca6d42a/sem-smart-browse-evo.jpg?preferwebp=true&width=360&quality=85&crop=0,120,908,568","medium":"/adobe/dynamicmedia/deliver/dm-aid--895f3b03-1a54-4072-a7ad-9e822ca6d42a/sem-smart-browse-evo.jpg?preferwebp=true&width=768&quality=85&crop=0,120,908,568","large":"/adobe/dynamicmedia/deliver/dm-aid--895f3b03-1a54-4072-a7ad-9e822ca6d42a/sem-smart-browse-evo.jpg?preferwebp=true&width=908&quality=85&crop=0,120,908,568","xlarge":"/adobe/dynamicmedia/deliver/dm-aid--895f3b03-1a54-4072-a7ad-9e822ca6d42a/sem-smart-browse-evo.jpg?preferwebp=true&width=908&quality=85&crop=0,120,908,568","xxlarge":"/adobe/dynamicmedia/deliver/dm-aid--895f3b03-1a54-4072-a7ad-9e822ca6d42a/sem-smart-browse-evo.jpg?preferwebp=true&width=908&quality=85&crop=0,120,908,568","max":"/adobe/dynamicmedia/deliver/dm-aid--895f3b03-1a54-4072-a7ad-9e822ca6d42a/sem-smart-browse-evo.jpg?preferwebp=true&width=908&quality=85&crop=0,120,908,568"})
SmartBrowse
- 異なる倍率で多くの検出器から獲得した画像を組み合わせて、試料と照らし合わせて大きな画像を構築
- ステージ座標を参照し、画像を簡単にナビゲート
- 異なるフィルタ処理と表示モードにより、隠れた情報を解除
- 3次元画像を回転させながら、さまざまな角度から画像を映し出して試料を詳細に観察
- システムパラメータを使用して、画像のプロパティにアクセス
![SmartSEM Touch SmartSEM Touch]({"xsmall":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/electron-ion/sem/evo/evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.100.63.0,180,960,780.file/evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg","small":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/electron-ion/sem/evo/evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.360.225.0,180,960,780.file/evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg","medium":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/electron-ion/sem/evo/evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.768.480.0,180,960,780.file/evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg","large":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/electron-ion/sem/evo/evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.960.600.0,180,960,780.file/evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg","xlarge":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/electron-ion/sem/evo/evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.960.600.0,180,960,780.file/evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg","xxlarge":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/electron-ion/sem/evo/evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.960.600.0,180,960,780.file/evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg","max":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/electron-ion/sem/evo/evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.960.600.0,180,960,780.file/evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg"})
![SmartSEM Touch SmartSEM Touch]({"xsmall":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/electron-ion/sem/evo/evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.100.100.file/evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg","small":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/electron-ion/sem/evo/evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.360.360.file/evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg","medium":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/electron-ion/sem/evo/evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg/_jcr_content/renditions/original.image_file.768.768.file/evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg","large":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/electron-ion/sem/evo/evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg/_jcr_content/renditions/original./evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg","xlarge":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/electron-ion/sem/evo/evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg/_jcr_content/renditions/original./evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg","xxlarge":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/electron-ion/sem/evo/evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg/_jcr_content/renditions/original./evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg","max":"https://www.zeiss.com/content/dam/rms/reference-master/products/electron-ion/sem/evo/evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg/_jcr_content/renditions/original./evo-web-smartsem-touch-user-interface.jpg"})
SmartSEM Touch
- 直感的な操作のメリット:SmartSEM Touchは、タッチスクリーンで操作し、インタラクティブなワークフローを指先で直接制御可能
- 素早く簡単に習得でき、トレーニングの労力と費用を劇的に削減。初心者ユーザーでも、数分で美しい画像をキャプチャできるように
- 繰り返しの検査作業のための自動化されたワークフローを必要とする産業オペレーターをサポートするユーザーインターフェース
- ラボの管理者は、繰り返しのイメージングルーチン作業のパラメータを事前に設定できるため、初心者とルーチンユーザーが常に全く同じパラメータを使用して繰り返しデータを取得することが可能
- 多言語対応で、ローカリゼーションと使用が容易