幅広い種類の検出器で試料を分析しましょう。異なる検出器を使うことで、表面や組成などの様々な情報を得ることができ、プロセスの改善や簡略化に役立てることができます。
お客様のニーズに最適な検出器を見つけてください。
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カスケード電流検出器(C2D)は、VPSE G3およびVPSE G4に代わり、低真空(VP)モードでの超低加速電圧イメージングを可能にします。これにより、1~3 kVで画像をより効果的に取得することができるようになりました。
メリット:
製品パンフレット
広範カスケード型電流検出器(C2DX)は、EVOシリーズ独自の検出器で、最高3,000 Paの圧力で優れたイメージング性能を発揮するよう設計されています。
メリット
BSD検出器は、非常に低い角度で反射する電子を検出するのに使用されます。新しい増幅器によって検出器の効率が向上するため、様々なコントラスト情報、はるかに高いゲイン、低ノイズレベルが実現します。
光結合型光電子増倍管を搭載した新しいETSE検出器(Everhart Thornely Secondary Electron)は、低加速電圧での動作や長い作動距離でのSE収集を改善するために設計されています。
第4世代の低真空SE検出器(VPSE G4)は、収集信号の改善により、さらに速い応答時間を実現します。高速スキャンのおかげで生産性がアップします。VPSE G4は、最大400 Paまで(20 keV時)コントラストを20%向上させます。
これによって、試料の高スループットが可能となるため、お持ちのEVOシステムの情報を取得できる限界の幅が広がります。SEMで使用する電子ビームエネルギーがきわめて低い場合、より低い加速電圧で励磁ボリュームが減少し、断面数が増加します。
SEMイメージングだけでは部品や試料を完全に理解するための情報が得られない場合、エネルギー分散型X線分光法(EDS)に切り替え、空間分解能を用いて元素化学情報を入手することができます。
原子間力顕微鏡などの様々なシステムで、表面材料を除去または塗布することにより、ナノメートル範囲の構造を作成できます。または、ZEISS Atlas 5の幅広いオプションにより、マルチモーダル画像や包括的なマルチスケールのメリットを活用可能です。
ZEISS Atlas 5では、試料重視の相関環境で広範なマルチスケール、マルチモーダル画像を作成し、実験を容易化することができます。
最新のソフトウェアバージョンとライセンスオプションによる拡張機能、そしてシステムパフォーマンスを最適化するために推奨される最新の高性能PCハードウェアをご紹介します。
ZEISSワークステーションのアップグレードは、最新のSmartSEMソフトウェア、高性能なハードウェア仕様、最新のオペレーティングシステムにより、日々のプロセスを改善します。
SmartSEMは、困難な課題を解決するために設計された、高度な顕微鏡設定へのアクセスを提供する電子顕微鏡用オペレーティングシステムです。
高度粒子分析/分類ソリューションであるSmart Particle Investigator(SmartPI)があると、走査電子顕微鏡(SEM)で産業的清浄度または金属/鋼に関する実験のためのソリューションをすぐに使用できるようになります。
新しい機能を追加したり、既存の機能を改善したりするための幅広いライセンスをご用意しています。これらはプロセスを改善し、システムの使いやすさを向上させるのに役立つほか、より多くの情報を取得するためのツールが使用できます。
走査電子顕微鏡は、あらゆる種類の試料を2Dで測定・解析します。試料表面の3D解析には、ZEISSのオプションソフトウェア3DSMを使用可能です。aBSDまたはAsB検出器のシグナルによって試料表面の完全な3Dモデルを再構築し、トポグラフィー情報を取得できます。
3DSM Metrology:
Shuttle & Findを用いて、ZEISSの電子顕微鏡と光学顕微鏡を接続しましょう。ハードウェアとソフトウェアソリューションの組み合わせによって、標本を1つの顕微鏡システムから別のシステムに数分で移動できます。
指でスワイプして関心領域を選択するだけで、EVOシステムが自動的にデータを収集します。他のタスクを実行する間、EVOシステムは自動的に作動します。このバージョンアップにより、モダンなタッチインターフェースと多彩な自動化ツールによって、快適なワークフローが実現します。
ケーススタディ
Airlockによる試料ロード時間の短縮やスループットの向上、ECO Quietモードによるノイズレベルの大幅な低減など、利便性を向上させ、作業効率を高めることができます。プラズマクリーナーで試料やチャンバーを除染したり、フラッドガンやチャージコンペンセーションで帯電効果を補正し、画質を向上させることが可能です。
ZEISS ECO Quietモードと真空リザーバーを用いると、工場出荷時に設定された真空度に達した際、プレポンプは自動的に停止します。真空リザーバーにより、プレポンプを必要とせず、何時間でもシステムを稼働させることができます。その結果、ノイズレベルの低減とエネルギー消費量の削減を両立させることが可能になります。
ZEISSは、試料やチャンバーの除染を目的とした迅速かつコスト効率の高いソリューションを提供します。プラズマクリーナーは、プラズマ中で反応性の高い気相ラジカルを発生させるために使用します。ラジカルは機器のチャンバー内に移動し、不要な炭化水素と化学反応します。
試料ホルダー、最新版のデュアルジョイスティックコントローラーとコントロールパネル、停電時にシステムの安全を確保する無停電電源装置(UPS)などのアクセサリを追加して、顕微鏡をアップグレードしましょう。
安定した電力供給が不可能な場合は、無停電電源装置(UPS)を使用します。これは、短時間の停電に対応し、長時間の停電時には顕微鏡を制御して停止できるように設計されています。
デュアルジョイスティックコントローラーとコントロールパネルを使用することで、より快適な操作が可能になります。デュアルジョイスティックコントローラーは、ステージ制御や試料のナビゲーションに使用でき、コントロールパネルによって、SEMの最も頻繁に使用する機能に簡単にアクセスすることができます。
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