FE-SEMアップグレード

角度を選択できる新型反射電子（AsB）検出器を改良することで、電界放出形SEMによる生産性や画質が向上します。改良された検出器と電子機器によって向上した感度と高いスピードをご体験ください。

メリット：

• 低加速電圧での性能を向上
• イメージングコントラストを強化
• 安定した温度レベル

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古いAsB検出器をアップデート

エネルギー選択式反射電子（EsB）検出器は明瞭な組成コントラストに適しています。これは、インレンズ検出器の上に配置された環状のインカラム検出器です。BSEを検出することにより、サブサーフェイス情報とナノスケールの組成が可視化されます。

メリット

• 材料のより詳細な情報を入手可能
• トポグラフィーの影響を軽減
• エネルギーを選択可能な材料コントラスト

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希望どおりの分解能で迅速にイメージングするには、高電子線量と加速電圧が必要ですが、それらは画質を損なう帯電効果や試料の破損の原因となることがあります。ZEISS Sense BSDを、これまでにない高効率かつ高画質の高分解能微細構造イメージングと組み合わせることで、お持ちのSEMでTEMレベルのイメージングが可能となります。

メリット：

• 非導電性で帯電しやすい生体試料に最適
• 最良の試料保護機能を有しているため、画像の劣化を回避可能
• 高品質の画像をより短時間で

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光結合型光電子増倍管を搭載した新しいETSE検出器（Everhart Thornely Secondary Electron）は、低加速電圧での動作や長い作動距離でのSE収集を改善するために設計されています。

メリット：

• 帯電効果の軽減
• トポグラフィックイメージングを強化
• 優れた表面ディテール

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SEMイメージングだけでは部品や試料を完全に理解するための情報が得られない場合、エネルギー分散型X線分光法（EDS）に切り替え、空間分解能を用いて元素化学情報を入手することができます。

メリット：

• ルーチンの微量分析アプリケーションに最適なソリューション
  
• ワークフローに沿ったグラフィカルユーザーインターフェース
  
• ZEISSトータルサービスとシステムサポート

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ZEISS Atlas 5では、試料重視の相関環境で広範なマルチスケール、マルチモーダル画像を作成し、実験を容易化することができます。

メリット：

• 複数のソースで取得した多次元画像の相関付け
• 高速かつ容易な画像取得

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SmartSEMは、困難な課題を解決するために設計された、高度な顕微鏡設定へのアクセスを提供する電子顕微鏡用オペレーティングシステムです。

メリット：

• 強化されたイメージング条件
• 追加のソフトウェアモジュール
• 画像からより多くの情報を取得
• 直感的なナビゲーション

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走査電子顕微鏡は、あらゆる種類の試料を2Dで測定・解析します。試料表面の3D解析には、ZEISSのオプションソフトウェア3DSMを使用可能です。aBSDまたはAsB検出器のシグナルによって試料表面の完全な3Dモデルを再構築し、トポグラフィー情報を取得できます。

メリット：

• 3DSM
• 試料の表面を3D再構築
• リアルタイム操作が可能で再構築時間が2秒未満

3DSM Metrology：

• ISO 25178、DIN、ASMEなどの規格に準拠した自動測定とドキュメンテーション
• 完全に追跡可能な測定レポートを作成
• 表面とステップ高さ、距離、ナノメートルスケールの輪郭、粗さとうねり、粒子と粒径などのパラメータを含むプロファイルの特性評価

チャージコンペンセーションシステムは、窒素のイオン化により、非導電性の試料を局所的に放電させます。高分解能と分析能力の向上は、チャージコンペンセーションシステムの統合により、導電性試料だけでなく、あらゆる非導電性試料にも適用できます。

メリット：

• 非導電性試料を取得
• 画質向上
• 生産性と汎用性の向上

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ZEISS Focal CC（Focal Charge Compensation）は、ガス注入方式を改良し、帯電効果を排除して画質を向上させます。以前の帯電した試料、特に樹脂が露出している部分が多い試料では、画質が著しく低下し、歪みが生じていました。

メリット：

• 高分解能イメージング
• ダメージ防止
• ニードル自動収納機能

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デュアルジョイスティックコントローラーとコントロールパネルを使用することで、より快適な操作が可能になります。デュアルジョイスティックコントローラーは、ステージ制御や試料のナビゲーションに使用でき、コントロールパネルによって、SEMの最も頻繁に使用する機能に簡単にアクセスすることができます。

メリット：

• 多くのコンペンセーション機能
• 多様な構成オプション
• 便利な操作性

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