薄膜

薄膜研究面临的主要挑战之一是在不造成样品损坏的情况下对表面进行高分辨率成像。由于X射线计数极低，使用EDS也难以从这些相同样品中获得准确、高分辨率的化学数据。

解决这些问题推动了SEM工具的开发，可在更低的电压下进行更高分辨率的成像。事实上，低于1 kV的高性能SEM成像现在被视为分析薄膜材料的黄金标准。如果您将其与使用先进探测器系统（最大化立体角和起飞角）的高分辨率EDS面分布图相结合，还可以从这些表面采集高度准确的化学数据。这可让您确信您的EDS能谱图或图谱能准确反映样品。

蔡司不断开发低电压、高分辨率成像技术，帮助您推进研究。蔡司GeminiSEM与专为Gemini光学SEM柱设计的EDS探测器相结合，可提供极高的分辨率，助您分析光束敏感薄膜的表面。此外，您还可以使用共聚焦激光扫描技术以光学方式快速执行无损三维形貌测量。