产品

蔡司EVO系列操作直观的模块化扫描电子显微镜平台，适用于日常检测与研究应用

EVO系列结合高性能扫描电子显微镜，为显微镜专家和新用户带来直观且易操作的使用体验。凭借丰富的选件，无论是在生命科学、材料科学，或是在日常工业质量保证和失效分析领域，EVO均可根据您的需求量身定制。

用于显微镜中心或工业质量保证实验室的多功能解决方案
获取真实样品的出色图像
使用六硼化镧（LaB₆）发射体实现高图像质量
对非导电和未涂层样品进行出色的成像和分析
工作流自动化和数据完整性

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SmartSEM Touch用户界面可为需要自动化工作流来完成可重复检测任务的工业操作员提供帮助。

轻松使用丰富功能

SmartSEM Touch，只需指尖轻触便能轻松控制交互式工作流。操作简单易上手，大大减少了培训的工作量及成本，即便是新手用户也能在几分钟内采集到出色的图像。此外，该用户界面还可为需要自动化工作流来完成可重复检测任务的工业操作员提供帮助。

出色的图像质量

EVO在获取无涂层和未改性样品的优良数据方面具备优势。EVO使含水与重度污染的样品保留其原生状态，从而保护数据质量。此外，六硼化镧电子枪还能增强分辨率、衬度和信噪比，这在面对具有挑战性的成像与显微分析时非常重要。

_{图片说明：火石，来自打火机的铈铁合金颗粒，使用蔡司EVO成像，HDBSD探测器。}

EVO能与其他显微镜良好互联

EVO可作为半自动化和多模式工作流的一部分，无缝衔接再定位感兴趣区域，并且保障多种模式下收集数据的完整性。它可将光学与电子显微镜的数据相结合，进行材料表征或部件检验，也可将EVO与蔡司光学显微镜结合使用，进行关联颗粒度分析。

简单直观的界面让操作更得心应手

在实验室中，操作SEM对于电子显微镜专家而言肯定游刃有余。但SEM的操作对非专业用户而言依然具有挑战，比如学生、新手或质量工程师等，他们往往也需要从SEM获取数据。因此，EVO在设计时便考虑到了这一点，它可选的用户界面能同时满足非显微镜专家和有经验的显微镜专家的操作需求。

专业用户可访问高级成像参数和分析功能。

新手用户可访问预设的工作流及常用参数，非常适合初学者。

智能化导航和成像

提高您的样品处理通量，提升工作效率和性能

蔡司导航相机

相机可安装在样品仓中，以监测样品与背散射探测器极靴之间的相对位置（样品仓相机）；或安装在真空样品仓门上（导航相机），以概览样品载具上的样品或零部件排列。该视图可用于预设光学显微镜图像标识的感兴趣区域，并在整个样品检测过程中实现轻松导航。
自动化智能成像

EVO可以在无人值守的情况下自动完成跨批次样品的自动化图像采集。蔡司自动化智能成像非常适合日常检测应用，用户可以定义边界区域、自动生成由所需观察视野或放大倍率确定的感兴趣区域，并开始自动图像采集，从而提高您的样品处理通量，提升工作效率和性能。

迈入检测应用新时代

使用六硼化镧（LaB₆）电子枪获取更丰富的数据

相较传统发针型钨灯丝，六硼化镧阴极的电子发射可以按您所需，保证图像的每个细微之处都得到淋漓尽致的展示。您将从下面两方面获益：

在电子探针大小（如分辨率）不变的情况下，您可以获得更高的探针电流，更轻松地进行图像导航和优化。
在探针束流（信噪比）不变的情况下，束流直径要小得多，可以提高图像分辨率。

EVO能与其他显微镜良好互联

从工作流自动化和关联显微技术中受益

EVO和ZEN core的生态系统 — 1.采集后分析，2.背景分析，3.集成报告，4.自动图像分割

使用蔡司ZEN core，拓展您的应用

用于互联显微技术和图像分析的软件套件

蔡司是各类显微镜和计量系统的供应商，因此您可以将EVO与其他蔡司解决方案融合。可以在（数码）光学显微镜和EVO之间建立一个高效的多模式工作流程，将光学显微镜与众不同的观察方式与扫描电子显微镜特有的成像和分析方法相结合，以获取互补数据，从而得到有关材料、质量或样品失效机制更具价值的信息。

充分发挥ZEN core作为您互联显微技术枢纽的作用。您可以根据多用户环境中显微镜使用者的经验水平，为具体应用定制其功能，并确定工作流程。

享受产品的优势：

关联显微技术：光学、数字与电子显微镜之间的样品和数据交换
背景数据展现：跨尺度和成像方式的数据可视化和组织
包括基于Microsoft Word报告的金相学应用：跨连接图像和数据库的集成报告
自动图像分析：基于机器学习算法（深度学习）的图像分割

适用于常规显微分析应用

SEM与EDS的配对使用必须慎重。EVO上的SmartEDX适用于常规显微分析应用，尤其适合对数据可重复性有高要求的客户。其在129 eV能量分辨率和1-5 nA探针电流（典型的EVO工作条件）下具有极高的处理效率。鉴于氮化硅窗口出色的透射率，SmartEDX经过优化，可以探测轻元素的低能量X射线。

以工作流为导向的图形用户界面

以工作流为导向的图形用户界面

SmartEDX的开发旨在改善多用户环境下的易用性和工作流程的可重复性。与其他以工作流为导向的蔡司软件解决方案（如SmartSEM Touch或ZEN core）相同，对于EVO，SmartEDX软件易于学习，使用也很直观。该软件有助于确保在SEM上重复执行分析任务，在多名操作人员使用系统的环境下依然表现良好。SmartEDX既可作为固定配置的高性价比EDS探测器，也可作为灵活方便的选配版本提供。
简化操作，更有效地收集EDS数据

简化操作，更有效地收集EDS数据

使用一台计算机同时控制EDS和SEM。这一集成不仅提高了易用性，还让您尽享显微镜和EDS系统的专用用户界面。您可以利用优化的探测器集成，将EDS信号输入提高至少17%，从而缩短EDS的图像采集时间。

在不同EDS探测器配置之间进行选择

在不同EDS探测器配置之间进行选择

单台计算机的解决方案可为您提供各种EDS配置：可订购牛津设备公司的Xplore 15、30和Ultim Max 40探测器。
全面的蔡司售后服务和系统支持

SmartEDX完全由蔡司提供支持，因此，这款EDS解决方案非常适合那些有意精简分析设备供应商的客户。所有的安装、预防性维护、质保、诊断与维修、配件物流和总系统服务合同均由蔡司全面负责，助您轻松获取分析SEM解决方案。

EVO系列

	蔡司EVO 10	蔡司EVO 15	蔡司EVO 25
	EVO 10可选配背散射探测器和Element EDS系统，以非常实惠的价格带您走进扫描电子显微镜的世界。您如今在EVO上的投资可确保应对未来需要更大空间和更多端口的应用。	EVO 15在分析应用领域表现十分出色。选择更大的真空样品仓，您可尽享多功能、多用途的显微镜中心或工业质量保证实验室解决方案。	EVO 25是您的大型样品解决方案。选配80 mm Z轴行程样品台，可进一步扩展其功能，即使在倾斜的情况下也可检测重达2 kg的样品。此外，大型真空仓将能够容纳多个分析探测器，以满足严苛的显微分析应用需求。
最大样品高度	100 mm	145 mm	210 mm
最大样品直径	230 mm	250 mm	300 mm
电动载物台XYZ行程	80 x 100 x 35 mm	125 x 125 x 50 mm	130 x 130 x 50（或80）mm
样品室规格	310 mm (直径) x 220 mm (高度)	365 mm (直径) x 275 mm (高度)	420 mm (直径) x 330 mm (高度)

配件

对一只无涂层放射虫藻类在1 keV着陆能量下成像。施加电子束减速后，表面细节和衬度得到明显改善，荷电伪影减少。

对一只无涂层放射虫藻类在1 keV着陆能量下成像。无电子束减速的成像，呈现出荷电伪影（左图）。施加电子束减速后，表面细节和衬度得到明显改善，荷电伪影减少（右图）。

电子束减速成像

使用电子束减速成像来研究精细样品，以此提升图像质量，同时大幅度减少对样品的损坏。如此，您便能够以更高的图像分辨率、表面敏感性和衬度对非导电样品进行成像。将偏置电压施加到样品，这样便可减少样品上的有效着陆能量，而保持较高的主要能量。

应用

锌-磷化涂层，高真空下使用SE探测器成像。

锌-磷化涂层，高真空下使用SE探测器成像。
在可变压力模式下，使用BSE探测器对未涂覆的汽车坐垫泡沫表面进行成像。

在可变压力模式下，使用BSE探测器对未涂覆的汽车坐垫泡沫表面进行成像。
不锈钢断裂表面，在高真空下使用SE成像。

不锈钢断裂表面，在高真空下使用SE成像。

制造与装配工业

质量分析/质量控制
失效分析/金相研究
清洁度检验
符合ISO 16232和VDA 19第1第2部分标准的颗粒形态分析和化学分析
非金属夹杂物分析

高真空或可变压力模式下引线键合二次电子图像。

高真空或可变压力模式下引线键合二次电子图像。
镍腐蚀二次电子图像。

镍腐蚀二次电子图像。
电子设备晶须生长二次电子图像。

电子设备晶须生长二次电子图像。

半导体和电子元件

电子元件、集成电路、MEMS器件和太阳能电池的可视化检查
铜线表面和晶体结构检测
金属腐蚀检测
截面失效分析
焊脚检测
电容器表面成像

镀锌低碳钢的截面，在EVO 15下使用SE探测器成像。

镀锌低碳钢的截面，在EVO 15下使用SE探测器成像。
使用F80铝矾土砂进行喷砂清理后的S355钢表面。

使用F80铝矾土砂进行喷砂清理后的S355钢表面。
钛合金（Ti-6Al-4V）表面采用选择性激光熔化，与未熔化的Ti-6Al-4V颗粒和其他材料一起显示出完全熔化的区域。

钛合金（Ti-6Al-4V）表面采用选择性激光熔化，与未熔化的Ti-6Al-4V颗粒和其他材料一起显示出完全熔化的区域。

钢和其他金属

金属样品和夹杂物的结构、化学特性及其晶体结构的成像和分析
相、颗粒度、焊接和失效分析

蓝片岩的矿物分布图。样品由S. Owen提供。

蓝片岩的矿物分布图。样品由S. Owen提供。
赞比亚大型炼铜炉中残留的铜渣颗粒。样品由英国的Petrolab提供。

赞比亚大型炼铜炉中残留的铜渣颗粒。样品由英国的Petrolab提供。
加拿大北魁北克的过碱性花岗岩，含稀土元素，包括横切样品和分区锆石的萤石矿。

加拿大北魁北克的过碱性花岗岩，含稀土元素，包括横切样品和分区锆石的萤石矿。

原材料

地质样品的形貌、矿物学和成分分析
金属结构、断裂和非金属夹杂物的成像与分析
微粉化和制粒过程中原料化学品和活性成分的形貌与成分分析

自修复矿物的膨胀和裂缝桥网，呈现花状含水菱镁钙石结构。在12 kV电压下使用SE探测器成像。

自修复矿物的膨胀和裂缝桥网，呈现花状含水菱镁钙石结构。在12 kV电压下使用SE探测器成像。
电池装配件中的石墨烯泡沫结构，在高真空下使用SE探测器成像。

电池装配件中的石墨烯泡沫结构，在高真空下使用SE探测器成像。
航空复合材料，在可变压力模式下，10 kV电压下使用C2D探测器成像。

航空复合材料，在可变压力模式下，10 kV电压下使用C2D探测器成像。

材料科学研究

研究应用中表征导电和非导电材料样品

树叶表面上霉菌的伪彩图像。在570 Pa水蒸气、1°C和20 kV下使用C2DX探测器成像。

树叶表面上霉菌的伪彩图像。在570 Pa水蒸气、1°C和20 kV下使用C2DX探测器成像。
拟蝎细节，高真空20 kV下使用BSE探测器成像。

拟蝎细节，高真空20 kV下使用BSE探测器成像。
树木花粉，使用扩展压力模式和C2DX探测器在接近100%相对湿度的条件下成像。

树木花粉，使用扩展压力模式和C2DX探测器在接近100%相对湿度的条件下成像。

生命科学

研究植物、动物和微生物

钨片上固化的熔融态玻璃表明事件发生时灯泡处于使用状态。

钨片上固化的熔融态玻璃表明事件发生时灯泡处于使用状态。
C2D探测器在可变压力模式下能够生成出色的无涂层样品图像，非常适合用于法医学纤维比较。

C2D探测器在可变压力模式下能够生成出色的无涂层样品图像，非常适合用于法医学纤维比较。
枪壳上撞针中的标记可帮助识别所使用的武器。

枪壳上撞针中的标记可帮助识别所使用的武器。

法医学

枪击残留物（GSR）
涂料和玻璃分析
钞票和硬币伪造
头发和纤维对比
法医毒理学

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